松诺盟科技有限公司范敏获国家专利权
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龙图腾网获悉松诺盟科技有限公司申请的专利齐平膜芯体及其制备方法和应用、压力变送器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119618434B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510167785.X,技术领域涉及:G01L1/22;该发明授权齐平膜芯体及其制备方法和应用、压力变送器是由范敏;雷卫武设计研发完成,并于2025-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本齐平膜芯体及其制备方法和应用、压力变送器在说明书摘要公布了:本发明属于压力传感器技术领域,具体涉及一种齐平膜芯体及其制备方法和应用、压力变送器。所述齐平膜芯体包括钢基和齐平膜;其中,所述齐平膜包括复合应变层;所述复合应变层包括依次层叠的第一应变层、第二应变层、第三应变层和第四应变层各层之间相互协同配合感应来自各个方向的压力,从而提高齐平膜芯体应变灵敏度。本发明提供的含齐平膜芯体的压力变送器,具备很高的过载能力,使其能够在恶劣的工作环境中保持稳定的性能,提供准确的压力数据。
本发明授权齐平膜芯体及其制备方法和应用、压力变送器在权利要求书中公布了:1.一种齐平膜芯体,包括钢基和齐平膜;其特征在于,所述齐平膜包括复合应变层; 所述复合应变层包括依次层叠的第一应变层、第二应变层、第三应变层和第四应变层; 所述第一应变层的材料包括SiGeSnN; 所述第二应变层的材料包括SiGeSnNiN; 所述第三应变层的材料包括SiGeSnNiCrInN; 所述第四应变层的材料包括SiGeNiCrInGaN; 所述第二应变层的材料包括如下原子百分含量的元素: Si:27%~35%、Ge:28%~37%、Sn:18%~25%、Ni:15%~22%、N:3%~8%; 所述第三应变层的材料包括如下原子百分含量的元素:Si:19%~25%、Ge:21%~28%、Sn:23%~29%、Ni:17%~21%、Cr:8%~14%、In:3%~8%、N:1%~2%。
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