先导薄膜材料(安徽)有限公司丁跃跃获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(安徽)有限公司申请的专利一种钽靶材及其制备方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119615032B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411600223.1，技术领域涉及：C22F1/18；该发明授权一种钽靶材及其制备方法和应用是由丁跃跃;黄东长;童培云;高建成设计研发完成，并于2024-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种钽靶材及其制备方法和应用在说明书摘要公布了：本发明属于靶材制备领域，具体公开一种钽靶材及其制备方法和应用。本发明方法中，对钽锭依次进行应力退火、冷锻压和热处理、两阶段不同方向的轧制以及中间静压处理、再结晶退火，各步骤之间相互配合，使得钽靶材的晶粒分布更均匀、晶粒更细，{111}晶粒取向的比例更高，以此控制溅射的速率以及溅射稳定性，提高溅射镀膜的均匀性，实现提高成膜质量的目的。
本发明授权一种钽靶材及其制备方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种钽靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤： 1将电子束熔炼获得的钽锭进行退火处理，得到退火后的钽锭； 2将退火后的钽锭依次进行冷锻压和热处理，得到锻压后的钽锭； 所述冷锻压中，包括依次进行镦粗和拔长； 3将所述锻压后的钽锭依次进行第一阶段交叉轧制、静压处理、第二阶段交叉轧制，得到轧制后的钽锭；所述静压处理中，使得第一阶段交叉轧制后的钽锭在厚度方向实现变形，靶材厚度方向的总变形率为10%-30%；所述第一阶段交叉轧制中，相邻的两道次的轧制方向相差90°；所述二阶段交叉轧制中，第二阶段交叉轧制中的第一道次的轧制方向与第一阶段中的轧制方向相差45°~135°，且相邻的两道次的轧制方向相差90°；所述第一阶段交叉轧制和所述二阶段交叉轧制中，总的变形率为65%-90%，总的道次为15-40道次； 4将所述轧制后的钽锭在真空条件下进行退火处理，得到钽靶材；所述退火处理采用阶梯升温的方式。
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