江苏国科鹏兴微电子有限公司彭良强获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏国科鹏兴微电子有限公司申请的专利一种分区激光辅助键合系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119495582B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411700214.X,技术领域涉及:H10W72/00;该发明授权一种分区激光辅助键合系统是由彭良强;顾先立设计研发完成,并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种分区激光辅助键合系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种分区激光辅助键合系统,包括:光源组件,用于出射光;至少一个导光件,其出光端以二维阵列形式排布,光源组件的出射光入射至导光件,传导后从导光件的出光端出射;光学组件,所述至少一个导光件的出射光入射至光学组件,通过后投射出;光控制组件用于控制光源组件向所述至少一个导光件中的任一导光件是否入射光,使光源组件向选定导光件入射光;或者光控制组件用于控制所述至少一个导光件中的任一导光件是否出光,使选定导光件出射光,使由光学组件投射出光束所形成的光斑与待键合芯粒匹配,选定导光件的出光端的排列形状与待键合芯粒匹配。本发明的分区激光辅助键合系统能更灵活地调整投射出光束对应的光斑,灵活性与效率更高。
本发明授权一种分区激光辅助键合系统在权利要求书中公布了:1.一种分区激光辅助键合系统,其特征在于,包括: 光源组件,用于出射光; 至少一个导光件,设置于所述光源组件的出光侧且所述至少一个导光件的出光端以二维阵列形式排布,使得所述光源组件的出射光入射至所述导光件,由所述导光件传导并从所述导光件的出光端出射; 光学组件,设置于所述至少一个导光件的出光侧,使得所述至少一个导光件的出射光入射至所述光学组件,所述至少一个导光件的出射光通过所述光学组件后成像,通过所述光学组件后投射出; 光控制组件,所述光控制组件与所述光源组件相连,用于控制所述光源组件向所述至少一个导光件中的任一导光件是否入射光,使得所述光源组件向所述至少一个导光件中的选定导光件入射光,使所述至少一个导光件中的所述选定导光件出射光,由所述光学组件投射出的光束所形成的光斑与待键合芯粒匹配; 或者,所述光控制组件与所述至少一个导光件相连,用于控制所述至少一个导光件中的任一导光件是否出光,使得所述至少一个导光件中的选定导光件出射光,由所述光学组件投射出的光束所形成的光斑与待键合芯粒匹配; 其中,所述选定导光件的出光端的排列形状与所述待键合芯粒匹配,所述选定导光件的出光端的排列形状与所述待键合芯粒的形状匹配,使通过所述光学组件投射出的光束所形成的光斑与所述待键合芯粒的形状匹配,且所述选定导光件的数量满足使通过所述光学组件投射出的光束,所形成的光斑尺寸与所述待键合芯粒的尺寸匹配。
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