买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉中国计量科学研究院;深圳中国计量科学研究院技术创新研究院申请的专利一种晶圆无损姿态调节装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119419156B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411367913.7，技术领域涉及：H10P72/50；该发明授权一种晶圆无损姿态调节装置是由施玉书;张树;史舟淼;杜陈伙设计研发完成，并于2024-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆无损姿态调节装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆无损姿态调节装置，涉及晶圆姿态调整技术领域，包括真空吸盘、限位上裙摆、限位下裙摆、二维移动平台和控制器，所述真空吸盘安装于所述限位上裙摆的上端，所述真空吸盘的上表面设有多个吸附孔，所述真空吸盘用于吸附晶圆，所述限位上裙摆设置于所述限位下裙摆的上方，所述限位上裙摆的下表面和所述限位上裙摆的上表面之间设有若干个调节伸缩杆，所述调节伸缩杆用于调节所述限位上裙摆的位置，所述限位下裙摆安装于所述二维移动平台上，所述二维移动平台能够带动所述限位下裙摆沿水平方向上移动，所述调节伸缩杆和所述二维移动平台均与所述控制器电连接。本发明能够实现机械调整晶圆位置，无需人工参与，晶体位置调整精确。

本发明授权一种晶圆无损姿态调节装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆无损姿态调节装置，其特征在于：包括真空吸盘、限位上裙摆、限位下裙摆、二维移动平台和控制器，所述真空吸盘安装于所述限位上裙摆的上端，所述真空吸盘的上表面设有多个吸附孔，所述真空吸盘用于吸附晶圆，所述限位上裙摆设置于所述限位下裙摆的上方，所述限位上裙摆的下表面和所述限位下裙摆的上表面之间设有若干个调节伸缩杆，所述调节伸缩杆用于调节所述限位上裙摆的位置，所述限位下裙摆安装于所述二维移动平台上，所述二维移动平台能够带动所述限位下裙摆沿水平方向上移动，所述调节伸缩杆和所述二维移动平台均与所述控制器电连接； 所述真空吸盘包括从内到外依次设有多个晶圆卡环，位于最内侧的所述晶圆卡环的中心滑动连接有一个滑动支撑柱，所述滑动支撑柱的下端设有升降电缸，所述滑动支撑柱和各个所述晶圆卡环的圆周方向上均布有多个吸附孔，各个所述晶圆卡环由内到外高度逐渐增大，位于最外侧的所述晶圆卡环的外侧设有竖向外沿，不同的尺寸的晶圆放置于不同尺寸的所述晶圆卡环或所述滑动支撑柱上； 所述限位上裙摆上设有半球凹槽，所述调节伸缩杆的伸缩端设有接触球体，所述接触球体能够进入到所述半球凹槽内并与所述半球凹槽相抵，所述限位上裙摆和所述限位下裙摆均为圆筒结构，所述限位上裙摆的内径大于所述限位下裙摆的外径，使得所述限位下裙摆能够插入到所述限位上裙摆的内部，所述限位上裙摆的内壁上设有环形的气压凹槽，所述气压凹槽内固定有吹气管，所述吹气管上间隔均布有多个吹气孔，所述吹气管的一端连接有气泵； 所述调节伸缩杆为调节电缸，所述调节电缸设有三个，所述限位上裙摆上设有三个半球凹槽，所述调节电缸的伸缩端设有接触球体，所述接触球体与所述半球凹槽相抵；所述限位上裙摆和所述限位下裙摆之间连接有三个伸缩弹簧；并且三个所述伸缩弹簧分别与三个所述调节伸缩杆交错分布； 所述真空吸盘的下端设有吸盘底座，所述吸盘底座通过螺丝固定于所述限位上裙摆的上端；所述吸盘底座的上表面设有三个电动伸缩支架，所述电动伸缩支架的伸缩端上安装有激光测距传感器。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国计量科学研究院;深圳中国计量科学研究院技术创新研究院，其通讯地址为：100029 北京市朝阳区北三环东路18号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。