中国科学院微电子研究所苏涛获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院微电子研究所申请的专利一种基于真空规的设备控制装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119270698B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411172647.2，技术领域涉及：G05B19/042；该发明授权一种基于真空规的设备控制装置是由苏涛;张心强;郜晨希;徐亚辉;刘瑞琪;林琳;孙小孟;张沙;郑旭;闫明;李超波设计研发完成，并于2024-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于真空规的设备控制装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种基于真空规的设备控制装置，涉及真空规技术领域。其中方法包括：真空规和控制模块，所述控制模块的两端分别与所述真空规和被控设备连接；所述控制模块，用于接收所述真空规测量的压力信号，并根据所述压力信号和预设触发压力，控制所述被控设备的工作状态。本申请能够增加真空规的控制功能，还能够降低制造成本，且与旧型号设备相适配。
本发明授权一种基于真空规的设备控制装置在权利要求书中公布了：1.一种基于真空规的设备控制装置，其特征在于，包括：真空规和控制模块，所述控制模块的两端分别与所述真空规和被控设备连接； 所述控制模块，用于接收所述真空规测量的压力信号，并根据所述压力信号和预设触发压力，控制所述被控设备的工作状态； 其中，所述控制模块包括信号处理电路和驱动控制电路，所述信号处理电路的输入端与所述真空规的输出端连接，所述信号处理电路的输出端与所述驱动控制电路的输入端连接，所述驱动控制电路的输出端与所述被控设备连接； 所述信号处理电路，用于对所述真空规测量的压力信号进行处理，并将处理后的压力信号传递给所述驱动控制电路； 所述驱动控制电路，用于根据所述处理后的压力信号和预设触发压力，控制所述被控设备的工作状态； 所述驱动控制电路包括继电器，所述继电器的输入端与所述信号处理电路的输出端连接；所述继电器，用于比较所述处理后的压力信号对应的压力值与预设触发压力，并根据比较结果，控制所述继电器内部的触点开关状态；基于所述触点开关状态，控制所述被控设备的工作状态。
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