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龙图腾网获悉京华芯盛(北京)半导体科技有限公司申请的专利田字形解耦隔振组合梁框架结构及其高精度四质量双轴微加速度计获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119104750B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411294196.X，技术领域涉及：G01P15/18；该发明授权田字形解耦隔振组合梁框架结构及其高精度四质量双轴微加速度计是由雷龙海;陈东华设计研发完成，并于2024-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本田字形解耦隔振组合梁框架结构及其高精度四质量双轴微加速度计在说明书摘要公布了：本发明公开了田字形解耦隔振组合梁框架结构及其高精度四质量双轴微加速度计，该结构包括：至少四个外环直梁机构和至少四个解耦隔振环；该加速度计包括：衬底层和器件层，其中，器件层包括上述的田字形解耦隔振组合梁框架结构、X轴双质量敏感单元和Y轴双质量敏感单元；本发明解决双轴加速度检测的轴间交叉耦合问题，实现MEMS加速度计对周围环境的隔离减振，有效地抑制温度、环境震动对器件测量精度的影响；采用交叉布置电极位置方式，可以有效地抑制MEMS微结构因工艺失配造成的输出误差，从而提高器件的输出精度；各轴向采用双质量敏感单元模块并联的组合方式设计，将成倍地提升器件的检测灵敏度。

本发明授权田字形解耦隔振组合梁框架结构及其高精度四质量双轴微加速度计在权利要求书中公布了：1.高精度四质量双轴微加速度计，该加速度计用于检测导航设备的加速度，其特征在于，该加速度计包括： 衬底层3，其材料为硅； 器件层4，其位于衬底层3上方，并通过相应的锚定固定安装衬底层3上； 其中，器件层4包括田字形解耦隔振组合梁框架结构、X轴双质量敏感单元5和Y轴双质量敏感单元6; 所述田字形解耦隔振组合梁框架结构包括至少四个外环直梁机构1和至少四个解耦隔振环2，共同作用于对周围环境的隔离减振，进行有效地抑制温度和环境震动； 每四个所述外环直梁机构1关于该结构中心对称，形成田字形，且安装于衬底层上； 每个所述解耦隔振环2安装在对应的外环直梁机构1内，使安装在该结构上的敏感单元关于该结构中心对称并悬浮，使敏感单元在各自敏感轴向独立协同运动，避免双轴加速度检测的轴间交叉耦合； 每个所述外环直梁机构1包括八个直梁101；八个直梁101两两相接形成L形，位于外环直梁机构1的四角处； 位于衬底层四角处的两个直梁101通过单质量固定锚点102固定安装在衬底层上； 位于衬底层四边中心处的四个直梁101通过双质量固定锚点103固定安装在衬底层上； 位于衬底层中心处的八个直梁101通过四质量固定锚点104固定安装在衬底层上； 每个所述解耦隔振环2的五边分别与对应的外环直梁机构1的八个直梁101相连接； X轴双质量敏感单元5安装在田字形解耦隔振组合梁框架结构的上半部分内，Y轴双质量敏感单元6安装在田字形解耦隔振组合梁框架结构的下半部分内； 当外界有沿X轴加速度输入时，X轴双质量敏感单元5将在X轴方向发生位移，X轴双质量敏感单元5将产生电容变化，通过外围电路的控制读出，完成对X轴向加速度的检测，且通过田字形解耦隔振组合梁框架结构，Y轴双质量敏感单元6电容为零，Y轴向无信号输出，将不受到X轴输入的干扰而保持在零位位置； 当外界有沿Y轴加速度输入时，Y轴双质量敏感单元6将在Y轴方向发生位移，Y轴双质量敏感单元6将产生电容变化，通过外围电路的控制读出，完成对Y轴向加速度的检测，且通过田字形解耦隔振组合梁框架结构，X轴双质量敏感单元5电容为零，X轴向无信号输出，将不受到Y轴输入的干扰而保持在零位位置。

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