买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉株式会社T-ROBOTICS申请的专利在真空室中传送基板的基板传送装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119050026B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411147637.3，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权在真空室中传送基板的基板传送装置是由李寿钟;李昌成;池昌絃;咸相辉设计研发完成，并于2024-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本在真空室中传送基板的基板传送装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基板传送装置，其在真空室内传送基板，其包括：升降机器人，其包括升降板和第1升降轴至第n升降轴，并且密封结合于在所述真空室的下方区域中形成的真空室通孔；行走机器人，其包括行走臂平台、第1行走臂单元、第2行走臂单元、以及传送机器人结合单元，并且通过第1行走驱动电机和第2行走驱动电机的操作来使所述传送机器人结合单元在所述第1直线方向上进行往复运动；以及传送机器人，其传送基板，并结合于所述传送机器人结合单元。

本发明授权在真空室中传送基板的基板传送装置在权利要求书中公布了：1.一种基板传送装置，其在真空室内传送基板，其包括： 升降机器人，其包括升降板和第1升降轴至第n升降轴，并且密封结合于在所述真空室的下方区域中形成的真空室通孔，其中，在所述升降板上向平面上的第1直线方向形成第a1_1通孔至第a1_n通孔，所述升降板在真空室的下方形成并由升降驱动单元而上下运动，所述n为大于或等于2的整数；所述第1升降轴至所述第n升降轴中每一个的一侧端结合至所述升降板的顶面，以使每个中空轴对应所述第a1_1通孔至所述第a1_n通孔每一个的中心，并且其另一侧端位于所述真空室的内部； 行走机器人，其包括行走臂平台、第1行走臂单元、第2行走臂单元、以及传送机器人结合单元，并且通过第1行走驱动电机和第2行走驱动电机的操作来使所述传送机器人结合单元在所述第1直线方向上进行往复运动，其中，所述行走臂平台上形成第b1_1结合孔至第b1_n结合孔、第b2结合孔、以及第b3结合孔，所述第b1_1结合孔至所述第b1_n结合孔在所述第1直线方向形成，所述第b1_1结合孔至所述第b1_n结合孔中的每一个因每个第b1_1卡止件至第b1_n卡止件而分为第b1_1上部空间和第b1_1下部空间至第b1_n上部空间和第b1_n下部空间，并且所述第b1_1上部空间至所述第b1_n上部空间中的每一个可由第b1_1盖子至第b1_n盖子而密封，其中，所述第b1_1卡止件至所述第b1_n卡止件上形成与所述第1升降轴至所述第n升降轴的中空对应的第b1_1通孔至第b1_n通孔；所述第b2结合孔在与所述第1直线方向垂直的第2直线方向的第1前端区域形成，并且因第b2卡止件而分为第b2上部空间和第b2下部空间，所述第b2下部空间由第b2盖子密封，其中，所述第b2卡止件上形成第b2通孔；所述第b3结合孔在第2直线方向的第1另一前端区域形成，并且因第b3卡止件而分为第b3上部空间和第b3下部空间，所述第b3下部空间由第b3盖子密封，其中，所述第b3卡止件上形成第b3通孔；其中，插入到每个所述第b1_1下部空间至所述第b1_n下部空间中的所述第1升降轴的另一侧端至所述第n升降轴的另一侧端中的每一个固定结合至每个所述第b1_1卡止件至所述第b1_n卡止件，所述第1行走臂单元包括第1_1行走连杆臂和第1_2行走连杆臂，所述第1_1行走连杆臂的密封的内部空间中设置第1行走驱动电机以及与所述第1行走驱动电机联动且将转速降至12的第1减速机，在所述第1_1行走连杆臂的第1_1前端区域密封设置与所述第1减速机联动且形成中空的第1_1驱动轴、以及与所述第1_1驱动轴联动的第1_1输出轴，在所述第1_1行走连杆臂的第1_1另一前端区域密封设置与所述第1行走驱动电机联动且形成中空的第1_2驱动轴、以及与所述第1_2驱动轴联动的第1_2输出轴，所述第1_1输出轴固定结合于第1_1连接件，所述第1_1连接件插入到所述行走臂平台的所述第b2上部空间中，以此固定结合于所述第b2卡止件；所述第1_2行走连杆臂的第1_2前端区域固定结合于所述第1_1行走连杆臂的所述第1_2输出轴，所述第2行走臂单元包括第2_1行走连杆臂和第2_2行走连杆臂，所述第2_1行走连杆臂的密封的内部空间中设置第2行走驱动电机以及与所述第2行走驱动电机联动且将转速降至12的第2减速机，在所述第2_1行走连杆臂的第2_1前端区域密封设置与所述第2减速机联动且形成中空的第2_1驱动轴、以及与所述第2_1驱动轴联动的第2_1输出轴，在所述第2_1行走连杆臂的第2_1另一前端区域密封设置与所述第2行走驱动电机联动且形成中空的第2_2驱动轴、以及与所述第2_2驱动轴联动的第2_2输出轴，所述第2_1输出轴固定结合于第1_2连接件，所述第1_2连接件插入到所述行走臂平台的所述第b3上部空间中，以此固定结合于所述第b3卡止件；所述第2_2行走连杆臂的第2_2前端区域固定结合于所述第2_1行走连杆臂的所述第2_2输出轴，所述传送机器人结合单元的第2前端区域可旋转地结合于所述第1_2行走连杆臂的第1_2另一前端区域，所述传送机器人结合单元的第2另一前端区域可旋转地结合于所述第2_2行走连杆臂的第2_2另一前端区域，并且所述传送机器人结合单元的第1中心区域中形成旋转驱动电机；以及 传送机器人，其传送基板，并结合于所述传送机器人结合单元， 所述升降机器人进一步包括： 第a盖子，其上形成第a2_1通孔至第a2_n通孔，并且密封结合于所述真空室的所述真空室通孔，其中，所述第1升降轴至所述第n升降轴中的每一个向所述第1直线方向插入所述第a2_1通孔至所述第a2_n通孔；以及 第1波纹管至第n波纹管，其中插入所述第1升降轴至所述第n升降轴中的每一个，其一侧端结合于所述升降板的顶面，其另一侧端结合于所述第a盖子。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社T-ROBOTICS，其通讯地址为：韩国京畿道；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。