华海清科股份有限公司孟松林获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利用于晶圆抛光的承载头、抛光方法和抛光设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118927139B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410816237.0，技术领域涉及：B24B37/32；该发明授权用于晶圆抛光的承载头、抛光方法和抛光设备是由孟松林;王宇设计研发完成，并于2024-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于晶圆抛光的承载头、抛光方法和抛光设备在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种用于晶圆抛光的承载头、抛光方法和抛光设备，其中用于晶圆抛光的承载头，包括：气膜组件、端环、保持环和基座；所述端环可拆卸地安装于所述基座与所述保持环间，所述气膜组件与所述基座连接，且所述气膜组件位于所述端环和所述保持环内，所述气膜组件与所述端环和所述保持环之间存在间隙；所述气膜组件，用于在对晶圆进行抛光时，将晶圆抵接在抛光垫上；所述端环、所述基座和所述气膜组件围成环形容纳腔，所述环形容纳腔的外环腔壁包括所述端环内壁。能够使端环承担牺牲功能，利用端环承受抛光液的腐蚀和晶圆碎屑等杂物造成的磨损，避免基座产生损伤，从而减小承载头的使用成本。
本发明授权用于晶圆抛光的承载头、抛光方法和抛光设备在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆抛光的承载头，其特征在于，包括： 气膜组件、端环、保持环和基座； 所述端环可拆卸地安装于所述基座与所述保持环间，所述气膜组件与所述基座连接，且所述气膜组件位于所述端环和所述保持环内，所述气膜组件与所述端环和所述保持环之间存在间隙； 所述气膜组件，用于在对晶圆进行抛光时，将晶圆抵接在抛光垫上； 所述端环、所述基座和所述气膜组件围成环形容纳腔，所述环形容纳腔的外环腔壁包括所述端环内壁；所述端环上开设有与所述环形容纳腔连通的储液槽。
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