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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利晶圆金属薄膜厚度的测量方法、装置、抛光设备和介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118905940B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411208871.2，技术领域涉及：B24B49/04；该发明授权晶圆金属薄膜厚度的测量方法、装置、抛光设备和介质是由路新春;刘杰;田芳馨;王同庆;赵德文设计研发完成，并于2024-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆金属薄膜厚度的测量方法、装置、抛光设备和介质在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种晶圆金属薄膜厚度的测量方法、装置、抛光设备和介质，其中方法包括：获取第一磨损参数和第一测量信号，其中，所述第一磨损参数用于指示抛光垫的当前厚度，所述第一测量信号由电涡流传感器采集，所述第一测量信号与所述晶圆上金属薄膜的厚度和所述抛光垫的厚度相关；根据所述第一磨损参数，确定目标映射信息，其中，所述目标映射信息用于指示在所述抛光垫的当前厚度下，所述电涡流传感器所采集的测量信号与所述金属薄膜的厚度之间的对应关系；根据所述第一测量信号和所述目标映射信息，确定所述金属薄膜的厚度。

本发明授权晶圆金属薄膜厚度的测量方法、装置、抛光设备和介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆金属薄膜厚度的测量方法，其特征在于，包括： 获取第一磨损参数和第一测量信号，其中，第一磨损参数用于指示抛光垫的当前厚度，第一测量信号由电涡流传感器采集，第一测量信号与晶圆上金属薄膜的厚度和抛光垫的厚度相关； 根据第一磨损参数，确定目标映射信息，其中，目标映射信息用于指示在抛光垫的当前厚度下，电涡流传感器所采集的测量信号与金属薄膜的厚度之间的对应关系； 根据第一测量信号和目标映射信息，确定金属薄膜的厚度； 所述根据第一磨损参数，确定目标映射信息，包括： 根据第一磨损参数，从多个映射信息中确定至少一个相关映射信息，其中，多个映射信息用于指示不同磨损参数下，电涡流传感器所采集的测量信号与金属薄膜的厚度之间的对应关系，且不同的映射信息对应不同的磨损参数； 根据至少一个相关映射信息，确定目标映射信息； 所述根据第一磨损参数，从多个映射信息中确定至少一个相关映射信息，包括：若多个映射信息中不包括对应磨损参数为第一磨损参数的映射信息，则将多个映射信息中对应磨损参数与第一磨损参数最接近的两个映射信息分别确定为第一映射信息和第二映射信息，并将第一映射信息和第二映射信息分别确定为相关映射信息； 根据至少一个相关映射信息，确定目标映射信息，包括：根据第一映射信息和第二映射信息，确定目标映射信息。

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