华海清科股份有限公司徐海洋获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利一种用于化学机械抛光的修整装置和抛光系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118744399B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410917496.2，技术领域涉及：B24B37/04；该发明授权一种用于化学机械抛光的修整装置和抛光系统是由徐海洋;刘学志;齐心设计研发完成，并于2024-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于化学机械抛光的修整装置和抛光系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于化学机械抛光的修整装置和抛光系统，所述修整装置包括摆臂、基座和修整头，所述基座设置于所述摆臂的端部，所述修整头通过导向轴转动连接于基座的下方；所述修整头包括法兰板、球铰板和柔性膜，所述法兰板固定于所述导向轴，所述球铰板铰接于导向轴的下端，所述柔性膜连接于法兰板与球铰板之间，以形成调压腔室；所述调压腔室能够将球铰板下方的修整盘抵压于抛光垫表面，以施加修整载荷。
本发明授权一种用于化学机械抛光的修整装置和抛光系统在权利要求书中公布了：1.一种用于化学机械抛光的修整装置，其特征在于，包括摆臂、基座和修整头，基座设置于摆臂的端部，修整头通过导向轴转动连接于基座的下方；修整头包括法兰板、球铰板和柔性膜，法兰板固定于导向轴，球铰板铰接于导向轴的下端，柔性膜连接于法兰板与球铰板之间，以形成调压腔室；调压腔室能够将球铰板下方的修整盘抵压于抛光垫表面，以施加修整载荷；所述柔性膜为环形结构，其包括第一延伸部、褶皱部和第二延伸部，三者一体成型；褶皱部设置于第一延伸部与第二延伸部之间并朝向内侧折弯；第一延伸部由第一压环固定于法兰板，第二延伸部由第二压环固定于球铰板；褶皱部自第一延伸部朝下向内延伸，再朝下向外延伸而成；褶皱部的壁厚大于或等于第一延伸部及第二延伸部的壁厚；导向轴的内部设置有通气孔，通气孔与调压腔室相连通，以将流体引入调压腔室；通气孔包括竖向孔和横向孔，竖向孔沿导向轴的长度方向设置，横向孔沿导向轴的径向设置且朝向柔性膜的褶皱部设置。
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