深圳市原速科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市原速科技有限公司申请的专利治具以及镀膜设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118147613B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410166236.6,技术领域涉及:C23C16/455;该发明授权治具以及镀膜设备是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-02-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本治具以及镀膜设备在说明书摘要公布了:本发明公开了一种治具以及镀膜设备,其中治具包括底座、顶盖和加热装置。底座包括基底和支撑件,支撑件连接于基底,支撑件用于支撑工件,基底具有出气孔,顶盖为导热结构,顶盖连接于基底,顶盖与基底之间限定形成反应腔,出气孔与反应腔连通,支撑件位于反应腔内,顶盖具有与反应腔连通的进气孔,进气孔朝向支撑件,进气孔用于供反应气体进入反应腔,加热装置连接于基底。将本实施例的治具用于装载工件进行镀膜时,工件的背离加热装置的一侧能够通过反应气体进行加热,从而降低工件的温差,使得工件温度更加均匀,进而提高工件表面镀膜层的均匀性。
本发明授权治具以及镀膜设备在权利要求书中公布了:1.治具,其特征在于,包括: 底座,包括基底和支撑件,所述支撑件连接于所述基底,所述支撑件用于支撑工件,所述基底具有出气孔; 顶盖,为导热结构,所述顶盖连接于所述基底,并与所述基底之间限定形成反应腔,所述出气孔与所述反应腔连通,所述支撑件位于所述反应腔内,所述顶盖具有与所述反应腔连通的进气孔,所述进气孔朝向所述支撑件,所述进气孔用于供反应气体进入所述反应腔; 加热装置,连接于所述基底; 所述底座包括多个所述支撑件,每两个间隔设置的所述支撑件形成一个支撑组,所述支撑组的两个所述支撑件用于支撑同一个工件,所述支撑组的两个所述支撑件之间设置有所述出气孔; 所述支撑件均具有避让槽,所述避让槽沿水平方向贯穿所述支撑件,所述避让槽具有向上的第三槽口,所述第三槽口的口缘用于支撑工件,并使所述工件的底部与所述避让槽的底部之间具有间隙; 所述底座包括承托板以及多个所述支撑件,所述承托板具有通气孔,所述通气孔与所述出气孔连通。
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