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龙图腾网获悉深圳庸行科技有限公司申请的专利一种氧化物烧结体及其制备方法、氧化物靶材及应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117776675B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311830911.2，技术领域涉及：C04B35/01；该发明授权一种氧化物烧结体及其制备方法、氧化物靶材及应用是由徐华;杨开霞设计研发完成，并于2023-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种氧化物烧结体及其制备方法、氧化物靶材及应用在说明书摘要公布了：本发明公开了一种氧化物烧结体及其制备方法、氧化物靶材及应用，涉及半导体技术领域。通过在氧化铟烧结体中引入稀土氧化物和第二金属化合物，第二金属化合物为金属氧化物和或金属氟化物，一方面可以和氧化铟的铟电子轨道形成耦合电子通道，改善其所制作的薄膜特性，提升器件性能；另一方面，稀土氧化物形成微小晶粒嵌入主体材料晶粒的间隙，形成致密的烧结体，从而能获得高度致密的陶瓷靶材。本发明提供的氧化物烧结体通过优化组成和制备方法，可以获得高致密度的烧结体或靶材，有利于使晶粒尺寸可控且分布可控。

本发明授权一种氧化物烧结体及其制备方法、氧化物靶材及应用在权利要求书中公布了：1.一种氧化物烧结体，其特征在于，包括第一金属化合物、稀土氧化物和第二金属化合物；第一金属化合物为氧化铟，所述第二金属化合物选自金属氧化物和金属氟化物中的至少一种； 所述氧化物烧结体中，铟元素、稀土元素和其它各金属元素总和在烧结体总金属元素中的摩尔占比分别为10%~98%、0.1%~8%和1%~88%； 所述氧化物烧结体的制备方法包括：以氧化铟、稀土氧化物和第二金属化合物为原料制备所述氧化物烧结体；将原料进行前处理得到粒径满足要求的混合粉体，将所述混合粉体进行造粒后得到造粒粉体，将所述造粒粉体压制成烧结体素坯，将所述烧结体素坯进行烧结； 在原料中，氧化铟、稀土氧化物和第二金属化合物的粒径满足：氧化铟的粒径＞第二金属化合物的粒径＞稀土氧化物的粒径；所述混合粉体满足D50=0.10μm~1.15μm，且D10≥0.05μm，D90≤2.0μm，所述混合粉体的粒径分布系数P=D90D10D50，P≤2.0； 将造粒后的粉体进行筛分，以得到粒径为25μm~50μm的颗粒；将筛分后的粉体先进行活化再压制成烧结体素坯，所述活化的方式为利用波长为100nm~400nm的紫外波段照射； 所述稀土氧化物选自氧化镨和氧化铽中的至少一种；所述氧化物烧结体中的稀土元素具有两种价态，稀土镨中Pr4+Pr3++Pr4+的百分比值为20%~40%，稀土铽中Tb4+Tb3++Tb4+的百分比值为40%~60%。

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