苏州铼铂机电科技有限公司谢华伟获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州铼铂机电科技有限公司申请的专利一种具有翻转机构的研磨夹具获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117655912B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311790540.X,技术领域涉及:B24B37/27;该发明授权一种具有翻转机构的研磨夹具是由谢华伟设计研发完成,并于2023-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有翻转机构的研磨夹具在说明书摘要公布了:本发明公开了一种具有翻转机构的研磨夹具,包括U形支架机构、提销机构、研磨夹具头和转轴,U形支架机构包括固定横梁和两个侧臂,转轴与固定横梁固定连接,侧臂连接于固定横梁的两端,侧臂的下端设有提销内孔,提销内孔内设有横置的固定栓销,提销内孔的前壁和后壁设有用于避让提销机构的开口,提销机构固定于研磨夹具头,提销机构设有长条栓销通孔,提销机构通过长条栓销通孔悬挂于固定栓销,研磨夹具头绕固定栓销转动后由提销内孔的后壁的开口的顶部限制提销机构转动。本发明可方便操作人员翻转研磨夹具头并保持,方便清洁维护减少因磨料吸入对晶圆及吸附面造成的损伤和对真空管路造成的堵塞。
本发明授权一种具有翻转机构的研磨夹具在权利要求书中公布了:1.一种具有翻转机构的研磨夹具,其特征在于,包括U形支架机构、提销机构、研磨夹具头和转轴,所述U形支架机构包括固定横梁和两个侧臂,所述转轴与所述固定横梁固定连接,所述侧臂连接于所述固定横梁的两端,所述侧臂的下端设有提销内孔,所述提销内孔内设有横置的固定栓销,所述提销内孔的前壁和后壁设有用于避让所述提销机构的开口,所述提销机构固定于所述研磨夹具头,所述提销机构设有长条栓销通孔,所述提销机构通过所述长条栓销通孔悬挂于所述固定栓销,所述研磨夹具头绕固定栓销转动后由所述提销内孔的后壁的开口的顶部限制所述提销机构转动。
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