应用材料公司J·M·舒浩勒获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利具有动态调平的同轴升降装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117305815B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311253211.1，技术领域涉及：C23C16/458；该发明授权具有动态调平的同轴升降装置是由J·M·舒浩勒;J·C·伯拉尼克;A·K·班塞尔设计研发完成，并于2019-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有动态调平的同轴升降装置在说明书摘要公布了：本文描述的实施例总体上涉及具有同轴升降装置的工艺腔室。在一些实施例中，装置包括底部碗升降器和底座升降器两者。底部碗升降器支撑底部碗，并且被配置成将底部碗移动到减小工艺容积的位置。底部碗升降器与底座升降器同轴，并且底部碗升降器和底座升降器被附接以用于真空操作。底座升降器包括多个致动器以创建动态升降机构。两种系统完成了嵌套系统nestedsystem，使得底部碗升降器是可调节的，并且可以关闭底部碗，从而创建对称且小的工艺容积。底座升降器可独立地移动到底座升降器的工艺位置，并且沿所期望的方向倾斜，而不受底部碗升降器的干扰，从而增加了经处理的基板上的膜均匀性。
本发明授权具有动态调平的同轴升降装置在权利要求书中公布了：1.一种升降组件，包括： 底部碗升降器，所述底部碗升降器包括： 底部碗，所述底部碗包括壁，所述壁具有限定内部容积的内表面； 底部碗托架，所述底部碗托架被配置成支撑所述底部碗； 骨干结构，所述骨干结构附接到所述底部碗托架并且具有可调节安装件，所述可调节安装件被配置成提供对所述骨干结构和所述底部碗的角度调节；以及 底部碗致动器组件，所述底部碗致动器组件被配置成使所述底部碗托架在第一方向上平移。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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