新毅东(上海)科技有限公司张琪获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉新毅东(上海)科技有限公司申请的专利一种光刻设备晶圆传控方法及光刻设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117270334B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311302763.7，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种光刻设备晶圆传控方法及光刻设备是由张琪;符友银设计研发完成，并于2023-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻设备晶圆传控方法及光刻设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种光刻设备晶圆传控方法及光刻设备，该方法包括：获取光刻设备内的不同工作位，确定工作位之间的传输关系，并设定工作位的作业动作分别对应的手势动作；当晶圆置于光刻设备时，检测用户与光刻设备之间的接触，若接触与手势动作相对应，确定相对应的手势动作对应的作业动作；根据传输关系确定执行对应的作业动作的至少两条传输路径，根据预先设定的传输策略从传输路径中选择出最优传输路径并执行。通过本发明，简化了用户对光刻设备的指令输入，并实现了晶圆耗时最短的传控，以进一步保证光刻设备的产能。
本发明授权一种光刻设备晶圆传控方法及光刻设备在权利要求书中公布了：1.一种光刻设备晶圆传控方法，其特征在于，包括： 获取光刻设备内的不同工作位，确定工作位之间的传输关系，并设定工作位的作业动作分别对应的手势动作； 当晶圆置于光刻设备时，检测用户与光刻设备之间的接触，若所述接触与手势动作相对应，确定相对应的手势动作对应的作业动作； 根据所述传输关系确定执行对应的作业动作的至少两条传输路径，根据预先设定的传输策略从所述传输路径中选择出耗时最短的传输路径作为最优传输路径并执行； 其中，所述光刻设备内的不同工作位包括：片盒、机械臂、预对准位以及工作台，所述传输关系包括工作位与相邻的工作位之间的相互传输，所述片盒用于放置晶圆，所述机械臂用于晶圆于片盒、预对准位以及工作台之间的传输，所述预对准位用于对晶圆进行预对准，所述工作台用于对晶圆进行曝光，所述机械臂包括：第一机械臂与第二机械臂，所述第一机械臂用于晶圆于片盒与预对准位之间以及片盒与工作台之间的传输，所述第二机械臂用于晶圆于预对准位与工作台之间的传输。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人新毅东(上海)科技有限公司，其通讯地址为：201700 上海市青浦区华新镇北青公路3888号20幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励