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龙图腾网获悉宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司申请的专利单晶炉上炉筒清洁装置及单晶炉获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117161021B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311092096.4，技术领域涉及：B08B9/087；该发明授权单晶炉上炉筒清洁装置及单晶炉是由马旭武;马玉怀;芮阳;徐慶晧;王黎光;曹启刚;杨宗川设计研发完成，并于2023-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本单晶炉上炉筒清洁装置及单晶炉在说明书摘要公布了：本发明提供一种单晶炉上炉筒清洁装置，涉及单晶炉清洁装置技术领域，包括爬升组件、清扫收集组件，清扫收集组件包括驱动电机、清洁转盘、清洁毛刷、真空吸附管，清洁转盘的内部设置中空空腔，清洁转盘的周向侧壁均匀开设吸附口，清洁转盘位于驱动电机的上方，驱动电机与爬升组件连接，驱动电机的驱动端与清洁转盘连接，清洁转盘的周向侧壁与清洁毛刷连接，清洁转盘的底部与真空吸附管转动连接，且清洁转盘的中空空腔与真空吸附管连通，清洁毛刷与上炉筒的内壁接触，进行旋转刷洗使得附着在上炉筒内壁的氧化物变为细小颗粒，再通过吸附口、真空吸附管将刷洗出的氧化物颗粒吸附出去，使得清洁毛刷刷洗后的氧化物颗粒、粉尘能够直接被清理出去。

本发明授权单晶炉上炉筒清洁装置及单晶炉在权利要求书中公布了：1.一种单晶炉，其特征在于，包括单晶炉上炉筒清洁装置、上炉筒、隔离阀，所述上炉筒与隔离阀连接，所述单晶炉上炉筒清洁装置，包括爬升组件、清扫收集组件，所述清扫收集组件包括驱动电机、清洁转盘、清洁毛刷、真空吸附管，所述清洁转盘的内部设置中空空腔，所述清洁转盘的周向侧壁均匀开设吸附口，所述清洁转盘位于所述驱动电机的上方，所述驱动电机与所述爬升组件连接，所述驱动电机的驱动端与所述清洁转盘连接，所述清洁转盘的周向侧壁与清洁毛刷连接，所述清洁转盘的底部与所述真空吸附管转动连接，且所述清洁转盘的中空空腔与所述真空吸附管连通，以将清洁毛刷清理的氧化物通过吸附口、真空吸附管吸附出去；所述爬升组件与所述上炉筒的内壁接触； 所述隔离阀包括连接吹扫部、开合部，所述连接吹扫部包括第一法兰、第二法兰、通气管，所述第二法兰内开设环形空腔，所述第二法兰内侧均匀设置数个吹扫孔，数个所述吹扫孔向一个方向倾斜，所述吹扫孔与所述环形空腔连通，所述第一法兰、第二法兰对称设置在所述开合部的上方、下方，所述上炉筒与所述第一法兰的上端面连接，所述第一法兰与所述开合部上端连接，所述开合部下端与所述第二法兰连接，所述通气管与所述第二法兰连接以与所述环形空腔连通，通过向所述通气管、环形空腔的内部吹入氩气，使得氩气从倾斜方向相同的所述吹扫孔吹出来，氩气在第二法兰的内环壁形成一层涡旋气膜旋转，防止杂流产生，且防止氧化物在所述开合部聚集，以在二次加料过程中降低氧化物落入石英坩埚内的概率，进而降低晶棒的良率。

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