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龙图腾网获悉常州诚鉺正环保技术有限公司申请的专利一种EPI外延工艺用尾气净化设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116712848B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310753352.3，技术领域涉及：B01D53/78；该发明授权一种EPI外延工艺用尾气净化设备是由陈逵;金大正设计研发完成，并于2023-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种EPI外延工艺用尾气净化设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种EPI外延工艺用尾气净化设备，属于硅外延工艺技术领域，其包括机架、一级水解箱、第一出水管、回水管、进料管、连接管和冲洗组件，机架上设有循环泵；一级水解箱内充满清水，一级水解箱上连通有出气管，净化后的尾气通过出气管排出；第一出水管和回水管均与循环泵连通，第一出水管用于向一级水解箱内喷淋，回水管与一级水解箱连通；进料管与连接管连通，连接管远离进料管的一端与一级水解箱连通；冲洗组件用于对管道内壁进行冲洗；设备运行时内部整体处于负压状态。本申请具有降低二氧化硅粉末沾附并堆积于处理设备内的可能性，降低由于粉末堆积对设备造成的损害，进而延长设备使用寿命的有益效果。

本发明授权一种EPI外延工艺用尾气净化设备在权利要求书中公布了：1.一种EPI外延工艺用尾气净化设备，其特征在于，包括：机架1，所述机架1上设有循环泵2；水解组件41，所述水解组件41包括一级水解箱42，所述一级水解箱42内充满清水，所述一级水解箱42用于净化尾气，所述一级水解箱42上连通有出气管8，经净化后的尾气通过所述出气管8排出；喷淋组件5，所述喷淋组件5包括第一出水管51和回水管54，所述第一出水管51和回水管54均与循环泵2连通，所述第一出水管51设于一级水解箱42内，所述第一出水管51用于向一级水解箱42内喷淋，所述回水管54与一级水解箱42连通；进料组件31，所述进料组件31包括进料管311和连接管313，所述进料管311与连接管313连通，所述进料管311远离连接管313的一端与三氯氢硅反应腔连通，所述连接管313远离进料管311的一端与一级水解箱42连通；冲洗组件32，所述冲洗组件32用于对进料组件31内的管道内壁进行冲洗；其中，尾气净化设备运行时，所述进料管311、连接管313、一级水解箱42以及出气管8之间处于负压状态；所述进料组件31还包括冲洗管312，所述进料管311、冲洗管312和连接管313依次连接，所述冲洗组件32包括第一冲洗件和第二冲洗件，所述第一冲洗件设于冲洗管312上，用于向所述冲洗管312内通入清水；所述第二冲洗件设于连接管313上，用于向所述连接管313内通入清水；所述第一冲洗件包括冲洗盘321和第一进水管322，所述冲洗盘321套设于冲洗管312上，所述冲洗盘321中开设有冲洗空腔3211，所述第一进水管322延伸至冲洗盘321中并与冲洗空腔3211相连通，所述冲洗盘321上开设有若干用于连通冲洗空腔3211和冲洗管312的连接孔3212，所述第一进水管322远离冲洗盘321的一端与循环泵2连通；所述第二冲洗件包括第二进水管323和控制阀324，所述第二进水管323的一端与控制阀324相连通、另一端与连接管313相连通，所述循环泵2上设有第三进水管21，所述控制阀324远离第二进水管323的一端通过第三进水管21与循环泵2相连通；所述进料组件31还包括隔绝管314，所述隔绝管314连接于冲洗管312远离连接管313的一端，且所述隔绝管314与进料管311连接，所述隔绝管314上连通有气幕管3141，所述气幕管3141用于向隔绝管314内通入氮气。

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