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东方电气(乐山)峨半高纯材料有限公司雷聪获国家专利权

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龙图腾网获悉东方电气(乐山)峨半高纯材料有限公司申请的专利一种低氧超纯锡锭或低氧超纯锡棒的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116694932B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310681209.8,技术领域涉及:C22B25/08;该发明授权一种低氧超纯锡锭或低氧超纯锡棒的制备方法是由雷聪;钟连兵;张程;任伟;杨武勇;蒋杰昌;雷云棣;杨蜀设计研发完成,并于2023-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。

一种低氧超纯锡锭或低氧超纯锡棒的制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及了一种低氧超纯锡锭棒的制备方法。本工艺方法结合锡的化学及物理特性,通过以下工艺流程:原料及辅材准备、原材料铸锭备用、根据成型的要求配料装炉、高真空和高温下脱氧除杂处理、一定温度和真空度下灌装、氢气气氛下再次脱氧和除杂处理、定向凝固成型、脱模包装等步骤,制备出纯度为99.999995%以上、氧含量低于1PPm的低氧超纯锡锭棒。本发明的一种低氧超纯锡锭棒的制备方法,集超纯锡材料除杂、脱氧和成型为一体,可以有效降低超纯锡锭棒中的氧含量和低沸点杂质含量,整个制备方法工艺完整、智能化程度高、操作简单、适用于多种规格尺寸要求的超纯锡锭棒制备,所制备的超纯材料质量和形状满足高端半导体行业发展的需求。同时该制备方法同样适用于低氧超纯铟、锑、镓等材料成型工艺。

本发明授权一种低氧超纯锡锭或低氧超纯锡棒的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种低氧超纯锡锭或低氧超纯锡棒的制备方法,其特征在于:制备方法是按照以下步骤进行: S1、准备高纯锡料、高纯锡锭或高纯锡棒成型装置和成型模具; S2、高纯锡料在高纯氩气气氛下铸成小锭备用,锭的大小依据所需成型的规格尺寸为50—100g锭,方便下一步配重使用; S3、铸好的小锭根据所需成型锡锭或成型锡棒的重量配重后装入有高纯石英填料的锥形管,在真空抽至10-4Pa以下,然后启动加热装置,在脱氧和除杂段升温至950—1050℃后,加热升温的速率为15—20℃min,在高温和高真空度下进行脱氧、除杂处理; S4、脱氧和除杂结束后的高纯锡液流入至成型模具内,在成型段恒定温度1000—1050℃和高真空10-4Pa下,将高纯锡液通过填料过滤灌装入模具内; S5、停真空系统,关闭真空系统上的所有阀门,从气体进气管通入高纯氢气,氢气流量控制在0.5—1Lmin,通入氢气30—50min后,在成型段恒定温度1000—1050℃下再次进行脱氧和除杂处理,该过程在氢气气氛下恒温时间为120—150min; S6、在氢气环境下脱氧及除杂完成后,成型段温度降低至280—350℃,启动定向凝固装置,使待成型模具从上至下匀速定向凝固,移动速度控制在30—50mmh,待成型模具完全移出加热区,锡液凝固后,降温至室温,关闭氢气进气阀门,打开高纯氩气进气阀门持续20—30min后,停氩气泄压,在惰性气体气氛下,取出成型模具后,进行脱模,即可获得低氧超纯锡锭或低氧超纯锡棒, 步骤S3、S4和S5中,采用的是高真空度下中频感应加热高温下除杂和脱氧、石英填料过滤去除氧化膜、氢气气氛下高温再次脱氧相结合的工艺进行三级脱氧和除杂处理。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人东方电气(乐山)峨半高纯材料有限公司,其通讯地址为:614100 四川省乐山市夹江县新场镇经开大道206号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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