成都联江科技有限公司兰洋获国家专利权
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龙图腾网获悉成都联江科技有限公司申请的专利光刻定焦系统、光刻物镜和光刻设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116679418B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310674714.X，技术领域涉及：G02B13/00；该发明授权光刻定焦系统、光刻物镜和光刻设备是由兰洋;朱红伟;邱盛平设计研发完成，并于2023-06-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本光刻定焦系统、光刻物镜和光刻设备在说明书摘要公布了：本发明公开一种光刻定焦系统、光刻物镜和光刻设备，光刻定焦系统包括自物侧至像侧依次设置的第一双凸球面透镜、第二凸凹球面透镜、第三凸凹球面透镜、第四双凹球面透镜、第五凹凸球面透镜、第六凹凸球面透镜、第七双凸球面透镜、第八凸凹球面透镜、第九双凹球面透镜、第十双凸球面透镜、第十一双凸球面透镜、第十二双凹球面透镜、第十三双凸球面透镜、第十四凸凹球面透镜、第十五凸凹球面透镜、第十六凸凹球面透镜。使得光刻定焦系统的光学总长控制在300mm范围内，使得整个光刻定焦系统结构紧凑，且各透镜均采用球面透镜，能够降低成本与加工难度，并实现分辨率能够达到350nm，以提供一种高分辨率、紧凑型、低成本的光刻定焦系统。
本发明授权光刻定焦系统、光刻物镜和光刻设备在权利要求书中公布了：1.一种光刻定焦系统，其特征在于，所述光刻定焦系统具有沿光轴方向呈相对设置的物侧和像侧，所述光刻定焦系统由自物侧至像侧依次设置的第一双凸球面透镜、第二凸凹球面透镜、第三凸凹球面透镜、第四双凹球面透镜、第五凹凸球面透镜、第六凹凸球面透镜、第七双凸球面透镜、第八凸凹球面透镜、第九双凹球面透镜、第十双凸球面透镜、第十一双凸球面透镜、第十二双凹球面透镜、第十三双凸球面透镜、第十四凸凹球面透镜、第十五凸凹球面透镜和第十六凸凹球面透镜组成； 其中，所述第二凸凹球面透镜、所述第三凸凹球面透镜、所述第八凸凹球面透镜、第十四凸凹球面透镜、所述第十五凸凹球面透镜、所述第十六凸凹球面透镜的凹面朝向像侧设置，所述第五凹凸球面透镜和所述第六凹凸球面透镜的凹面朝向物测设置，所述光刻定焦系统光学总长TTL≤300mm，所述光刻定焦系统的分辨率为350nm。
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