核工业西南物理研究院;中核同创(成都)科技有限公司陈美艳获国家专利权
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龙图腾网获悉核工业西南物理研究院;中核同创(成都)科技有限公司申请的专利一种用于管状工件的内壁镀膜装置、镀膜方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116641028B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310386885.2，技术领域涉及：C23C14/32；该发明授权一种用于管状工件的内壁镀膜装置、镀膜方法是由陈美艳;沈丽如;唐德礼;蒲世豪;李民久设计研发完成，并于2023-04-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于管状工件的内壁镀膜装置、镀膜方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于管状工件的内壁镀膜装置、镀膜方法，包括真空室；柱状阴极弧源，置于管状工件内部，与管状工件一起固定连接于真空室顶部；加热系统，装配于真空室上，用于对管状工件进行加热；阴极弧电源，连接于柱状阴极弧源以形成回路；电抗器，串联接入柱状阴极弧源与阴极弧电源、真空室形成的回路中；非对称双极性脉冲偏压电源，作为工件偏压具有输出电极A和输出电极B，输出电极A、B分别连接管状工件、真空室。采用电抗器的稳弧作用，再结合非对称双极性脉冲偏压电源的正、负脉冲周期性输出特性，解决半封闭环境中阴极弧源放电的“阳极消失”问题，实现内置式柱状阴极弧源长期稳定工作，工艺简单稳定，设备结构简单，镀膜效率高。
本发明授权一种用于管状工件的内壁镀膜装置、镀膜方法在权利要求书中公布了：1.一种用于管状工件的内壁镀膜装置，其特征在于，包括： 真空室； 柱状阴极弧源，置于管状工件内部，与所述管状工件一起固定连接于所述真空室顶部； 加热系统，装配于所述真空室上，用于对管状工件进行加热； 阴极弧电源，连接于所述柱状阴极弧源以形成回路； 电抗器，串联接入所述柱状阴极弧源与所述阴极弧电源及真空室形成的回路中； 非对称双极性脉冲偏压电源，作为工件偏压具有输出电极A和输出电极B，输出电极A、B分别连接管状工件、真空室。
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