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东北大学何庆获国家专利权

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龙图腾网获悉东北大学申请的专利一种被测体振动的相移数字全息三维测量方法及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116429017B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310523010.2,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权一种被测体振动的相移数字全息三维测量方法及装置是由何庆;刘通;尹文超设计研发完成,并于2023-05-10向国家知识产权局提交的专利申请。

一种被测体振动的相移数字全息三维测量方法及装置在说明书摘要公布了:本发明一种基于相移数字全息的精密表面三维形貌测量装置及方法,该装置包括:产生照射到在被测物体表面并返回的物光束及产生参考光的光束分束模块;接收光束分束模块的产生参考光,基于不同的电压力,产生不同增亮增程后物光束的不同参考光束的参考光束调整模块;接收光束分束模块的产生物光束,进行光束放大的透镜成像系统;接收参考光束调整模块的不同参考光束及透镜成像系统放大后的物光束,分别进行光束合并的第二偏振分光棱镜;对合并后的一系列光束分别发生干涉的线偏振片;对一系列干涉图像进行采集的图像采集模块;接收图像采集模块传送的一系列干涉图像,采用相移算法提取物光的相位信息实现被测体表面三维形貌的测量的计算机。

本发明授权一种被测体振动的相移数字全息三维测量方法及装置在权利要求书中公布了:1.一种基于相移数字全息的精密表面三维形貌测量方法,其特征在于:包括以下步骤: 全息干涉图为: 2 式2中,、,记为、,为物光、参考光的振幅,表示物光和参考光相位差;、表示物光和参考光相位; 通过控制压电陶瓷产生位移的方式在参考光中引入相移量,则不同相移量情况下的全息干涉图表示为: 3 式3中δi为第i次相对于第一幅相移产生的相移量,如果以第一次测量时的参考光相位为基准,则δ1=0; 被测体振动情况下沿光轴Z轴产生的位移引起的相移量误差分布为: 4 考虑被测体振动,式3干涉图更新为: 5 考虑被测体振动导致的相移量误差影响,基于区域分块的思想对振动引起的相移量误差分布进行求解,确定相移量误差εix,y; 任一全息干涉图中被测体振动引起的相移量误差确定后,即可根据式5计算图像内每一点x,y的相位信息,具体如下: 13 式13中,,A=Ax,y,u=Bx,ycosφx,y,v=-Bx,ysinφx,y,; 根据式13计算的ux,y和vx,y,物光和参考光相位差计算为: 14 根据式14计算出的物光和参考光相位差信息,结合参考光的相位为常数,即可恢复出物光的相位信息,根据物光相位即可获取被测体表面三维形貌hx,y: 15 其中:基于区域分块的思想对振动引起的相移量误差分布进行求解,确定相移量误差的过程如下: S1:将一系列相移干涉图像按照相同的区域划分方式划分成M×N个小块划分区域; S2:对每一个小块划分区域,假定该区域内振动引起的相移量误差是相同的,利用统计分析的方式求取平均的相移量误差; S3:对所有小块划分区域的相移量误差求取完成后,利用各小块划分区域的中心坐标以及其对应的相移量,按照式4的模型拟合整个图像内的相移量误差分布。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人东北大学,其通讯地址为:110819 辽宁省沈阳市和平区文化路三巷11号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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