财团法人工业技术研究院郭佩棋获国家专利权
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龙图腾网获悉财团法人工业技术研究院申请的专利微机电感测装置及其感测模块获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116413314B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210004662.0，技术领域涉及：G01N27/12；该发明授权微机电感测装置及其感测模块是由郭佩棋;李柏勋;陈明发设计研发完成，并于2022-01-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本微机电感测装置及其感测模块在说明书摘要公布了：本发明公开一种微机电感测装置及其感测模块，其中该微机电感测装置包含基底、加热器以及感测电极。加热器设置于基底上，且加热器具有加热工作部分。感测电极具有感测工作部分。加热器和感测电极沿堆叠方向设置于不同层，且感测电极与加热器电性绝缘。在堆叠方向的参考面上，加热器的加热工作部分的投影覆盖感测电极的感测工作部分的投影。
本发明授权微机电感测装置及其感测模块在权利要求书中公布了：1.一种微机电感测装置，包含： 基底； 加热器，设置于该基底上，且该加热器具有加热工作部分；以及 感测电极，具有感测工作部分，该加热器和该感测电极沿堆叠方向设置于不同层，且该感测电极与该加热器电性绝缘； 其中，在该堆叠方向的参考面上，该加热器的投影完全覆盖该感测电极的投影， 其中，该加热器包含相连的该加热工作部分以及加热器连接臂，且该感测电极包含相连的该感测工作部分以及电极连接臂， 其中，在该参考面上，该加热器的该加热工作部分的投影覆盖该感测电极的该感测工作部分的投影，该加热器连接臂的投影覆盖该电极连接臂的投影。
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