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龙图腾网获悉中北大学申请的专利一种X型上电极式MEMS单刀六掷开关获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116404378B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310130628.2，技术领域涉及：H01P1/12；该发明授权一种X型上电极式MEMS单刀六掷开关是由吴倩楠;陈玉;李孟委;湛永鑫设计研发完成，并于2023-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种X型上电极式MEMS单刀六掷开关在说明书摘要公布了：本发明属于射频MEMS技术领域，具体涉及一种X型上电极式MEMS单刀六掷开关，包括衬底、微波传输线、开关组件、空气桥，所述微波传输线设置在衬底上，所述微波传输线包括输入信号线、功分器、输出信号线和地线，所述输入信号线设置有一条，所述输出信号线设置有六条，所述输入信号线与功分器连接，所述功分器通过开关组件与输出信号线连接。本发明的开关上电极采用X型双端固支梁结构，锚点与直板结构通过直角弯曲梁连接，间接增加上电极长度，降低了梁的弹性系数，进而减小驱动电压。下电极顶端采用半圆形结构，与信号线连接处采用漏斗型渐变结构，两种结构均可以减小上、下电极之间的耦合电容，提高开关的隔离度。另外，三个圆形触点并联，接触电阻变小，电流密度更均匀，从而达到改善插入损耗、提升开关功率容量的目的。

本发明授权一种X型上电极式MEMS单刀六掷开关在权利要求书中公布了：1.一种X型上电极式MEMS单刀六掷开关，其特征在于：包括衬底1、微波传输线、开关组件、空气桥，所述微波传输线设置在衬底1上，所述微波传输线包括输入信号线2、功分器3、输出信号线4和地线15，所述输入信号线2设置有一条，所述输出信号线4设置有六条，所述输入信号线2与功分器3连接，所述功分器3通过开关组件与输出信号线4连接；所述开关组件包括上电极5、第一下电极6、第二下电极7、驱动电极8、引线9、第一锚点10、第一触点组11、第二触点组12，所述上电极5通过第一锚点10固定在衬底1上，所述第一下电极6的末端连接在功分器3上，所述第一下电极6的顶端固定有第一触点组11，所述第二下电极7的末端连接输出信号线4，所述第二下电极7的顶端固定有第二触点组12，所述上电极5位于驱动电极8、第一触点组11和第二触点组12的上方；所述第一触点组11、第二触点组12位于直板结构13纵向两端的正下方，所述第一触点组11和第二触点组12均包括三个圆形触点，所述三个圆形触点围绕第一下电极6和第二下电极7顶端的半圆形侧边均匀排布；所述上电极5为X型结构，所述上电极5包括直板结构13和直角弯曲梁结构14，所述直板结构13的端角与直角弯曲梁结构14的始端固定连接；所述直板结构13上设置有释放孔，所述释放孔包括条状释放孔131和方形释放孔132，所述方形释放孔132以阵列形式展开，横向为7排，纵向为2列；两个所述条状释放孔131横向对称设置在方形释放孔132阵列的两侧；所述直角弯曲梁结构14由三个矩形条连接而成，所述矩形条呈90度回折固连，所述直角弯曲梁结构14末端连接第一锚点10。

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