福建兆元光电有限公司马野获国家专利权
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龙图腾网获悉福建兆元光电有限公司申请的专利一种蓝宝石衬底回收再利用的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116314483B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310167020.7，技术领域涉及：H10H20/01；该发明授权一种蓝宝石衬底回收再利用的方法是由马野;马昆旺;刘恒山;宋水燕;陈灵燕设计研发完成，并于2023-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种蓝宝石衬底回收再利用的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及LED芯片技术领域，具体涉及一种蓝宝石衬底回收再利用的方法，包括如下步骤：S1：通过显影曝光去除LED芯片的上表面的刻蚀胶；S2：启动刻蚀机的刻蚀工序；S3：在清洗槽中加入过氧化氢和氢氧化钠；将LED芯片置入清洗槽。本发明的有益效果在于：通过反应腔的刻蚀工序能使LED芯片上的氮化镓结构迅速清除。氢氧化钠在与氮化镓反应的过程中，还与过氧化氢产生大量气体，加大了氢氧化钠与氮化镓的接触面积，也增加了氢氧化钠与氮化镓接触处的混乱程度，因此提高了氢氧化钠清除氮化镓的速率，降低了蓝宝石衬底回收的成本。
本发明授权一种蓝宝石衬底回收再利用的方法在权利要求书中公布了：1.一种蓝宝石衬底回收再利用的方法，其特征在于，包括如下步骤： S1：将刻蚀胶涂设在LED芯片的表面，通过显影曝光去除LED芯片的上表面的刻蚀胶； S2：将LED芯片置入刻蚀机的反应腔，启动刻蚀机的刻蚀工序； S3：在清洗机的清洗槽中加入浓度20％-40％过氧化氢溶液和浓度60％-80％的氢氧化钠溶液；加入清洗槽的过氧化氢溶液和氢氧化钠溶液的体积比为1：5；保持清洗槽中的液体温度为80-120度，将LED芯片置入清洗槽，持续60-90分钟； S4：完成蓝宝石衬底的回收。
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