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龙图腾网获悉上海芯谦集成电路有限公司申请的专利一种平整度测试方法和装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116295222B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310224682.3，技术领域涉及：G01B21/30；该发明授权一种平整度测试方法和装置是由杨波;张莉娟设计研发完成，并于2023-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种平整度测试方法和装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种平整度测试方法和装置，方法包括如下步骤：选择平整参照面，平整参照面与抛光垫的测试面相对平行；在测试面上设置多个第一测试点；获取多个第一测试点与平整参照面的距离，记为第一距离；计算第一距离的样本方差，记为第一方差D11；根据所述第一方差判断抛光垫的平整度。与现有技术相比，上述方法以平整参照面的平整度为标准来判断抛光垫的平整度，有效提高了平整度测试精度和效率。

本发明授权一种平整度测试方法和装置在权利要求书中公布了：1.一种平整度测试方法，其特征在于，包括如下步骤： 选择平整参照面，使所述平整参照面与测试台相对设置； 将抛光垫平铺在所述测试台上，使所述抛光垫的测试面与所述平整参照面相对平行； 在所述测试面上设置多个第一测试点； 获取多个所述第一测试点与所述平整参照面的距离，记为第一距离； 计算所述第一距离的样本方差，记为第一方差D1； 在所述测试台上设置多个与所述第一测试点一一对应的第二测试点； 获取多个所述第二测试点与所述平整参照面的距离，记为第二距离； 计算所述第二距离的样本方差，记为第二方差D2； 根据所述第一方差和所述第二方差判断所述抛光垫的平整度； 其中，形成平整度测试装置；在测试台上设置用于放置抛光垫的承载面，在承载面上设置多个绕承载面的中心呈同心圆分布的气孔和多个绕承载面的中心呈同心圆分布的定位件，将定位件凸出于承载面，通过真空泵与气孔连通，对承载面与抛光垫之间的空间抽真空，定位件与抛光垫的侧周抵接，抛光垫平整铺设于承载面； 在测试台上设置第一滑动杆，在第一滑动杆上上下滑动连接第一中间件，第一中间件转动连接第一延伸杆的一端，第一延伸杆的另一端转动连接转动架，在转动架上绕转动架的转动中心设置多个呈相交排列分布或呈同心圆分布的测距传感器，多个测距传感器面向抛光垫的一端的所在平面为平整参照面，通过第一中间件在第一滑动杆上下滑动，确定测试台与平整参照面之间的距离，通过第一延伸杆相对于第一中间件绕竖直轴转动，测距传感器的分布中心与承载面的中心同轴，调整转动架在第一延伸杆上的转动，测距传感器的位置分布为第一测试点的位置分布； 根据所述第一方差和所述第二方差判断所述抛光垫的平整度，包括如下步骤： 根据以下公式计算所述抛光垫的平整度：； 其中，F为所述抛光垫的平整度，α、β和ε为常数，且满足：0.8≤α≤1.2,0.8≤β≤1.2,0.01≤ε≤0.16； 设置所述平整度的合格范围； 判断所述平整度是否位于所述合格范围内，当所述平整度位于所述合格范围内，所述抛光垫合格，当所述平整度超出所述合格范围，所述抛光垫不合格。

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