长鑫存储技术有限公司陈家宝获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利半导体清洁设备和半导体产品的清洁方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116274087B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310324659.1，技术领域涉及：B08B3/02；该发明授权半导体清洁设备和半导体产品的清洁方法是由陈家宝设计研发完成，并于2023-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体清洁设备和半导体产品的清洁方法在说明书摘要公布了：本公开提供了一种半导体清洁设备及半导体产品的清洁方法，半导体清洁设备包括承载部、清洁部、限位部和干燥部，承载部用于承载待清洁的产品，清洁部用于提供清洁流体，以对产品进行清洗，限位部包括安装架和遮罩，遮罩顶部密闭，产品位于遮罩内，限位部设置有通孔，通孔能够供清洁流体通过，干燥部用于对清洗完成的产品进行烘干。本公开中，在承载部上设置多个样品载台，每个样品载台上都可以放置一个产品，从而能够同时对多个样品进行清洁，提高了清洁效率；设置限位部对承载部上的产品进行限位，对产品进行清洗、干燥的过程中，能够有效避免产品从承载部上脱落丢失，并且，顶部密闭的遮罩能够避免干燥部对产品过度干燥造成损伤。
本发明授权半导体清洁设备和半导体产品的清洁方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体清洁设备，其特征在于， 包括： 承载部，包括底座和设置于所述底座上的多个样品载台，用于承载待清洁的产品； 限位部，包括安装架和遮罩，所述遮罩安装于所述安装架下方，所述遮罩顶部密闭，所述产品位于所述遮罩内，以将所述产品限位于所述承载部上，其中，所述遮罩上设置有通孔，所述通孔能够供清洁流体通过； 清洁部，用于提供清洁流体，以对所述产品进行清洗； 干燥部，用于对清洗完成的所述产品进行烘干； 壳体，用于安装、保护所述承载部、所述清洁部、所述限位部和所述干燥部； 所述干燥部设置于所述清洁部的正上方。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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