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龙图腾网获悉合肥工业大学申请的专利涡旋光与平面波干涉的精密角位移测量装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116222435B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310237021.4，技术领域涉及：G01B11/26；该发明授权涡旋光与平面波干涉的精密角位移测量装置及方法是由夏豪杰;李哲;赵会宁;李维诗;张进;常松涛设计研发完成，并于2023-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本涡旋光与平面波干涉的精密角位移测量装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种涡旋光与平面波干涉的精密角位移测量方法，基于马赫泽德干涉结构搭建光学干涉系统，当待测平面镜和参考平面镜的相对位置不再平行时，由其反射回来的两个光束再次相遇时会发生离轴干涉，产生中间具有分叉结构，周围区域等间距分布的条形干涉图样。此时待测平面镜产生微小角位移时，两束反射光之间的光程差发生变化，干涉图样也会发生相应的变化，该干涉图样包含了待测平面镜倾斜角变化的大小及方向等相关信息。使用CCD相机分别采集平面镜处于不同位置处的干涉图样，通过对干涉图样做进一步的图像处理和计算，可以得到条纹间距和干涉条纹的倾斜角度，进而得到待测平面镜角度变化的大小和方向。

本发明授权涡旋光与平面波干涉的精密角位移测量装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种涡旋光与平面波干涉的精密角位移测量装置，其特征在于，包括计算机、PI控制系统、光学干涉系统和图像采集系统，其中，光学干涉系统结构为基于马赫泽德干涉仪结构的涡旋光与平面波干涉的角位移测量系统，具体结构为： 包括波长λ＝632.8nm的He-Ne激光器，He-Ne激光器产生的激光束经第一平面反射镜M1反射后入射到第一透镜L1和第二透镜L2组成的透镜组进行准直扩束后，进入第一分光棱镜BS1后被分为两束光，为透射光和反射光，其中透射光通过第二分光棱镜BS2后，经第三透镜L3调节涡旋光光斑半径的大小后，入射到第二平面反射镜M2上，光束经第二平面反射镜M2反射后返回第二分光棱镜BS2，并被第二分光棱镜BS2反射后入射到第四分光棱镜BS4上，经第四分光棱镜BS4反射后由图像采集系统的CCD相机接收； 进入第一分光棱镜BS1后的另一束反射光，经第一分光棱镜BS1反射后入射到螺旋相位板SPP生成携带轨道角动量的涡旋光，生成的涡旋光通过第三分光棱镜BS3后入射到第三平面反射镜M3上，第三平面反射镜M3反射回来的光再次经第三分光棱镜BS3反射后入射到第四分光棱镜BS4，两束光在第四分光棱镜BS4上再次相遇时发生干涉，当第二平面反射镜M2和第三平面反射镜M3相对存在一个小角度时，其反射回来的两束光发生离轴干涉，生成中心区域具有分叉结构、其它区域呈等间距的干涉条纹，干涉图样由图像采集系统CCD相机采集接收； 其中，第二平面反射镜M2为双面抛光的平面反射镜，安装在带PiezoMike驱动器的运动反射镜底座上，该底座与压电惯性驱动器PI配合使用，由计算机软件控制驱动器，使待测平面镜绕x轴方向和y轴方向产生与光轴z轴方向微小的角位移，分别记为α和β，即通过改变待测平面镜倾斜角进而改变反射光相对于入射光的倾角θ和方位角γ，其中θ为反射回去的涡旋光束相对于入射光束的倾角，定义为波矢k与z轴正方向的夹角，γ为xoy面内波矢k的投影与x轴正方向的夹角。

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