ASM IP私人控股有限公司朱驰宇获国家专利权
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龙图腾网获悉ASM IP私人控股有限公司申请的专利沉积方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116145112B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310180876.8，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权沉积方法是由朱驰宇;H·朱西拉;谢琦设计研发完成，并于2019-02-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本沉积方法在说明书摘要公布了：提供了一种选择性地在具有第一和第二表面的基板上沉积材料的方法，其中所述第一表面不同于所述第二表面。在基板上沉积材料包括：向基板供给包含金属原子、卤素原子和至少一种不是金属或卤素原子的另外的原子的本体前体；和向基板供给反应物。本体前体和反应物相对于第二表面与第一表面具有反应以在第一表面上形成比在第二表面上更多的材料。
本发明授权沉积方法在权利要求书中公布了：1.一种选择性地在基板上沉积材料的方法，所述方法包括： 提供具有间隙的基板，所述间隙具有第一底表面和第二侧表面； 通过以下方式在所述基板上沉积所述材料： 向所述基板供给包含金属和卤素的预备前体； 供给包含金属原子、卤素原子和至少一种硫族原子的本体前体；以及 向所述基板供给反应物，由此所述本体前体和所述反应物相对于所述第二侧表面与所述第一底表面具有反应以在所述第一底表面上形成比在所述第二侧表面上更多的材料， 其中所述预备前体包含于所述本体前体相同的金属和卤素。
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