江苏峰博装备技术有限公司尹华峰获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏峰博装备技术有限公司申请的专利一种用于晶圆的定位搬运装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116130392B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211552630.0,技术领域涉及:H10P72/30;该发明授权一种用于晶圆的定位搬运装置是由尹华峰设计研发完成,并于2022-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆的定位搬运装置在说明书摘要公布了:本发明提供一种用于晶圆的定位搬运装置,涉及搬运装置技术领域,包括支座,所述支座上设置有横向移载模组,所述横向移载模组包括一号步进电机,所述一号步进电机装在支座的表面,所述一号步进电机的输出端安装有一号同步轮组件,所述一号同步轮组件的表面设置有驱动滑块,所述横向移载模组的底部设置有升降模组,所述升降模组包括二号步进电机,所述二号步进电机设置在支座的一侧,所述二号步进电机的输出端安装有二号同步轮组件,实际使用时,通过设置横向移载模组、升降模组、旋转组件、取料组件和测量组件,结构简单、成本低、节拍短、操作简便,方便对晶圆的定位搬运,对机械手实现充分利用。
本发明授权一种用于晶圆的定位搬运装置在权利要求书中公布了:1.一种用于晶圆的定位搬运装置,包括支座26,其特征在于:所述支座26上设置有横向移载模组5,所述横向移载模组5包括一号步进电机23,所述一号步进电机23装在支座26的表面,所述一号步进电机23的输出端安装有一号同步轮组件24,所述一号同步轮组件24的表面设置有驱动滑块25,所述横向移载模组5的底部设置有升降模组4,所述升降模组4包括二号步进电机19,所述二号步进电机19设置在支座26的一侧,所述二号步进电机19的输出端安装有二号同步轮组件20,所述二号同步轮组件20的表面安装有滚珠丝杠21,所述滚珠丝杠21的外表面套设有滑块22,所述横向移载模组5的表面还设置有旋转组件3,所述旋转组件3包括旋转安装座17,所述旋转安装座17安装在支座26的表面,所述旋转安装座17的底面装有三号步进电机10,所述三号步进电机10的输出端设置有同步轮14,所述同步轮14的顶面装有驱动旋转轴15,所述旋转组件3的上方设置有取料组件2,所述取料组件2包括四号步进电机13,所述四号步进电机13安装在旋转组件3上,所述四号步进电机13的输出端安装有晶圆承载板7,所述晶圆承载板7的一侧设置有晶圆定位板8,所述取料组件2的一侧设置有测量组件1,所述测量组件1包括气缸11,所述气缸11设置在取料组件2上,所述气缸11的输出端安装有直线导轨12。
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