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龙图腾网获悉合肥工业大学申请的专利一种基于低相干干涉的深孔表面形貌测量系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116124045B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211468113.5，技术领域涉及：G01B11/30；该发明授权一种基于低相干干涉的深孔表面形貌测量系统是由赵会宁;侯晓莹;王杰;于连栋;夏豪杰设计研发完成，并于2022-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于低相干干涉的深孔表面形貌测量系统在说明书摘要公布了：本发明专利公开了一种基于低相干干涉的深孔表面形貌测量系统，包括检测部分以及自准直系统，检测部分包括所述白光干涉系统，具体为依次设置的1550nmASE宽带光源、第一反射镜、第一分束棱镜、第二反射镜、参考反射镜，第一分束棱镜的两侧分别设置有待测深孔、近红外相机，待测深孔内设置有锥形棱镜；自准直系统设置在待测深孔与第一分束棱镜之间，自准直系统包括依次设置的630nm光源、二向色棱镜、第二分束棱镜、第三反射镜、四象限探测器。本发明可实现对深孔表面形貌的一次性扫描，多次测量通过四步相移算法、拼接算法和对齐算法得出测量结果，实现表面三维形貌的重构。在装置中设计自准直系统，可以测出杆件水平放置时偏摆所产生的误差并进行误差补偿。

本发明授权一种基于低相干干涉的深孔表面形貌测量系统在权利要求书中公布了：1.一种基于低相干干涉的深孔表面形貌测量系统，其特征在于，包括检测部分以及自准直系统，所述的检测部分包括白光干涉系统，具体为依次设置的1550nmASE宽带光源1、第一反射镜3、第一分束棱镜4、第二反射镜7、参考反射镜8，第一分束棱镜4的两侧分别设置有待测深孔5、近红外相机10，待测深孔5内设置有锥形棱镜6； 所述白光干涉系统的1550nmASE宽带光源1发出的光束经过第一反射镜3进入分束棱镜4，部分光通过第二反射镜7的反射到达参考反射镜8后原路返回到分束棱镜4，部分光经过锥形棱镜6的反射后原路返回到分束棱镜4，两束光实现干涉，干涉图样被近红外相机10捕捉； 所述的自准直系统设置在待测深孔5与第一分束棱镜4之间，所述的自准直系统包括依次设置的630nm光源11、二向色棱镜13、第二分束棱镜14、第三反射镜15、四象限探测器16；其中，二向色棱镜13和第二分束棱镜14设置在待测深孔5与第一分束棱镜4的光路上； 所述的自准直系统对待测深孔5所在杆件的倾斜部分进行检测，具体为630nm光源11发出的光束经过二向色棱镜13反射到第二分束棱镜14，部分光通过第三反射镜15反射到四象限探测器16上，部分光经过锥形棱镜6的反射后原路返回到第二分束棱镜14并通过第三反射镜15反射到四象限探测器16上，若光点不在四象限探测器16的中心，则表明杆件倾斜，调整杆件直至光点在四象限探测器16的中心。

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