华海清科股份有限公司梁清波获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利一种修整装置和化学机械抛光系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115972097B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211684545.X，技术领域涉及：B24B53/017；该发明授权一种修整装置和化学机械抛光系统是由梁清波;徐海洋设计研发完成，并于2022-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种修整装置和化学机械抛光系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种修整装置和化学机械抛光系统，所述修整装置包括摆臂、基座和修整组件，所述基座设置于所述摆臂的端部，所述修整组件通过导向轴转动连接于基座的下方；所述修整组件包括安装座和修整盘，所述修整盘设置于安装座的下方；所述安装座包括固定件和转接件，所述固定件为环状结构，所述转接件设置于固定件的中心位置；所述转接件的上部与所述导向轴连接，其下部通过衔接件连接于所述固定件；所述衔接件为向上凸起的薄板结构，其与所述修整盘之间设置有间隙。
本发明授权一种修整装置和化学机械抛光系统在权利要求书中公布了：1.一种修整装置，其特征在于，包括摆臂、基座和修整组件，所述基座设置于所述摆臂的端部，所述修整组件通过导向轴转动连接于基座的下方；所述修整组件包括安装座和修整盘，所述修整盘设置于安装座的下方；所述安装座包括固定件和转接件，所述固定件为环状结构，所述转接件设置于固定件的中心位置；所述转接件的上部与所述导向轴连接，其下部通过衔接件连接于所述固定件；所述衔接件为向上凸起的薄板结构，其与所述修整盘之间设置有间隙；所述固定件、转接件和衔接件一体成型，以形成上端开口的半封闭结构；所述衔接件与水平面的夹角为2-10°；还包括柔性膜，其为环状结构；所述柔性膜的一端连接于所述安装座，其另一端连接于基座中的旋转部；所述柔性膜、旋转部与所述安装座形成密封腔室。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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