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天津津航技术物理研究所回长顺获国家专利权

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龙图腾网获悉天津津航技术物理研究所申请的专利一种新型加速度计敏感结构电极板的精密制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115890151B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211509127.7,技术领域涉及:B23P15/00;该发明授权一种新型加速度计敏感结构电极板的精密制造方法是由回长顺;姬志鹏;韩冰;陈卓;李鑫设计研发完成,并于2022-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。

一种新型加速度计敏感结构电极板的精密制造方法在说明书摘要公布了:本申请提供一种新型加速度计敏感结构电极板的精密制造方法,包括以下步骤:对正方体电极板毛坯六个基面进行外形铣磨加工并研磨抛光六个基面,获得电极板预制件;基于所述电极板预制件切割出U和D,切割U获得U1,并对U1和D进行研磨抛光;切割D获得D1和R,并分别进行研磨抛光;切割R获得D2和D3,并分别进行抛光;重复获得两组U1、D1、D2、D3,平磨两组U1、D1、D2、D3获得八个电极板基体;对电极板基体进行数控铣磨、打孔及沟槽加工。本申请提供的新型加速度计敏感结构电极板的精密制造方法具有生产效率高、且能对电极板进行精密制造的有点。

本发明授权一种新型加速度计敏感结构电极板的精密制造方法在权利要求书中公布了:1.一种新型加速度计敏感结构电极板的精密制造方法,其特征在于,包括以下步骤: S1、对正方体电极板毛坯六个基面进行外形铣磨加工并研磨抛光六个基面,获得电极板预制件; S2、基于所述电极板预制件,切割出U和D,保证U和D的切片厚度,切割U获得U1,将U1和D抛光的一面放置到光胶板上,研磨抛光U1和D远离所述光胶板的一面; S3、切割D获得D1和R,保证D1和R的厚度;保证D1和R的切片厚度,将R抛光的一面放置到光胶板上,研磨抛光R远离光胶板的一面; S4、切割R获得D2和D3,保证D2和D3的切片厚度,将U1、D1、D2、D3抛光的一面放置到光胶板上,研磨抛光U1、D1、D2、D3远离光胶板的一面; S5、重复上述步骤获取两组U1、D1、D2、D3,将两组两组U1、D1、D2、D3并排放置到光胶板上平磨,平磨完成的两组U1、D1、D2、D3获得八个电极板基体; S6、对电极板基体进行数控铣磨、打孔及沟槽加工,包括: S61、把电极板基体粘接于玻璃辅助块,粘接后平行度误差小于0.005mm,装夹在设备工作台上; S62、用直径不同的电镀金刚石圆棒磨具粗铣沟槽,在较大余量部分用Φ4刀测算余量均值轮廓,使用刀心轨迹编程,其余部分用小于窄槽的并留余量的Φ2.3-2.4磨具刀补轨迹编程完成电极面的粗铣,侧面留量0.004mm,底面留量0.002mm; S63、用Φ1.5mm电镀金刚石圆棒磨具粗铣Φ1.6mm沟槽; S64、对5mm深槽进行粗精铣磨,磨具直径要适配槽的拐角使用刀补编程; S65、用电镀锥度金刚石倒角模对安装孔,电极面两侧轮廓、长边、5mm深槽直边铣磨倒角; S66、底面平行度精度要求0.001mm,深度精度0.002,精细化刀补轮廓编程和磨具中心编程并用,期间切换三次刀补,用电镀金刚石磨具分次加工每次加工,用0.001精度千分表表测量相对深度和平行度,修正数据后加工到底面符合要求; S67、定制倒角和侧壁一体加工电镀金刚石磨具,直径保证在Φ1.6mm窄槽上刀补不干涉,精加工电极面,电极面表面积一致,不破坏接触底面的精加工状态; S68、手工倒角。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人天津津航技术物理研究所,其通讯地址为:300000 天津市东丽区空港经济区中环西路58号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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