EV 集团 E·索尔纳有限责任公司A·杜杜斯获国家专利权
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龙图腾网获悉EV 集团 E·索尔纳有限责任公司申请的专利制造微结构及/或奈米结构之方法及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115812179B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080102593.6,技术领域涉及:G03F7/00;该发明授权制造微结构及/或奈米结构之方法及装置是由A·杜杜斯;D·特里伯迈尔设计研发完成,并于2020-07-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本制造微结构及/或奈米结构之方法及装置在说明书摘要公布了:本发明揭示一种用于制造微结构及或奈米结构之方法及装置。
本发明授权制造微结构及/或奈米结构之方法及装置在权利要求书中公布了:1.一种用于制造微结构及或奈米结构的方法,其具有依以下序列之至少以下步骤: a将具有一压印材料7、7'、7''之一基板1、1'、1''固定于一基板容纳装置6上, b使一结构化印模2、2'与该压印材料7、7'、7''接触, c至少部分取消该基板1、1'、1''之该固定, d固化该压印材料7、7'、7'', f自该结构化印模2、2'移除该压印材料7、7'、7'', 其中在至少部分取消该基板之该固定之后,进行该基板1、1'、1''自该基板容纳装置6的至少部分的拆离,藉由该基板容纳装置6及该基板1、1'、1''的相对移动及或藉由该基板容纳装置6及一印模容纳装置5、5'的相对移动及或藉由毛细力来进行, 其中在无压力及或无接触压力的情况下结构化该压印材料7、7'、7'', 其中具有该压印材料7、7'、7''之该基板1、1'、1''藉由至少一可控的、且配置于该基板容纳装置6中的固定元件9、9'来固定于该基板容纳装置6上,及或该固定由该至少一可控的固定元件9、9'取消, 其中藉由控制该至少一可控的固定元件9、9'来控制该基板1、1'、1''之该固定及该基板1、1'、1''之该固定之该至少部分取消,使得该压印材料7、7'、7''之结构化及或在该结构化印模2、2'与该压印材料7、7'、7''接触之后该基板1、1'、1''之该释放或该拆离在一特定时间进行, 其中该基板1、1'、1''系可挠的,并且因此在至少部分取消该固定之后以至少部分保形的方式适于该结构化印模2、2'。
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