财团法人工业技术研究院郭沁柔获国家专利权
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龙图腾网获悉财团法人工业技术研究院申请的专利微机电红外光感测装置及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115704715B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210373390.1,技术领域涉及:G01J5/20;该发明授权微机电红外光感测装置及其制造方法是由郭沁柔;李柏勋;陈明发设计研发完成,并于2022-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本微机电红外光感测装置及其制造方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种微机电红外光感测装置及其制造方法,其中该微机电红外光感测装置包含基板以及红外光感测元件。红外光感测元件设置于基板上方,且红外光感测元件包含感应板以及至少一支撑元件。感应板包含至少一红外光吸收层、红外光感测层、感测电极以及多个金属元件。感应板具有多个开孔,金属元件围绕开孔,感测电极与该红外光感测层连接,且这些金属元件彼此间隔设置。支撑元件连接感应板与基板。
本发明授权微机电红外光感测装置及其制造方法在权利要求书中公布了:1.一种微机电红外光感测装置,包含基板以及设置于该基板上方的红外光感测元件,且该红外光感测元件包含: 感应板,包含至少一红外光吸收层、红外光感测层、感测电极以及多个金属元件,该感应板具有多个开孔,该些金属元件各自围绕该些开孔,该感测电极与该红外光感测层连接,且该些金属元件彼此间隔设置;以及 至少一支撑元件,连接该感应板与该基板。
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