株式会社村田制作所三村昌和获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社村田制作所申请的专利弹性波装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115699572B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180037224.8,技术领域涉及:H03H9/145;该发明授权弹性波装置是由三村昌和;手川总一郎设计研发完成,并于2021-05-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本弹性波装置在说明书摘要公布了:提供一种弹性波装置,能够更加可靠地抑制构成IDT电极的Cu向压电性基板扩散。本发明的弹性波装置具备:压电性基板2;以及IDT电极3,其具有设置在压电性基板2上的第一层4以及设置在第一层4上且以Cu为主成分的第二层5,并且具有多个电极指。第一层4包括位于压电性基板2侧的第一主面4a以及与第二层5接触的第二主面4b。第二层5包括与第一层4接触的第三主面5a、与第三主面5a对置的第四主面5b以及与第三主面5a及第四主面5b连接的侧面5c。IDT电极3还具有设置于第二层5的侧面5c的阻挡层7外层。第二层5的侧面5c与阻挡层7的边界A位于第一层4的第二主面4b上,阻挡层7未到达压电性基板2上。
本发明授权弹性波装置在权利要求书中公布了:1.一种弹性波装置,具备: 压电性基板;以及 IDT电极,其具有设置在所述压电性基板上的第一层以及设置在所述第一层上且以Cu为主成分的第二层,并且具有多个电极指, 所述第一层包括位于所述压电性基板侧的第一主面以及与所述第二层接触的第二主面, 所述第二层包括与所述第一层接触的第三主面、与所述第三主面对置的第四主面以及与所述第三主面及所述第四主面连接的侧面, 所述IDT电极还具有设置于所述第二层的所述侧面的外层, 所述第二层的所述侧面与所述外层的边界,位于所述第一层的所述第二主面上,所述外层未到达所述压电性基板上, 所述外层包括从由Mn、Al、Mg及Sn构成的组中选择的一种金属的氧化物。
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