长鑫存储技术有限公司郑分成获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利一种安装装置及安装方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115621149B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110806169.6,技术领域涉及:H10P72/00;该发明授权一种安装装置及安装方法是由郑分成设计研发完成,并于2021-07-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种安装装置及安装方法在说明书摘要公布了:本申请实施例公开了一种安装装置及安装方法。安装装置包括:支架;托盘,活动设置于所述支架上,所述托盘包括,第一承载部和第二承载部,所述第一承载部用于承托半导体设备的第一上电极部,所述第二承载部环绕设置于所述第一承载部的周部,并与其重心重合,所述第二承载部用于承托第二上电极部;第一传感器,设置于所述第一承载部的所述重心处,并采集所述第一上电极部和或所述第二上电极部的重心偏移量;驱动组件,连接于所述托盘,驱动所述托盘升降,并根据所述重心偏移量,驱动所述托盘调整所述第一上电极部和或所述第二上电极部的承托位置。本申请实施例提高了半导体设备的安装以及清洁的成功率,保证了半导体设备的工作时间。
本发明授权一种安装装置及安装方法在权利要求书中公布了:1.一种安装装置,其特征在于,包括: 支架; 托盘,活动设置于所述支架上,所述托盘包括第一承载部和第二承载部, 所述第一承载部用于承托半导体设备的第一上电极部, 所述第二承载部环绕设置于所述第一承载部的周部,并与所述第一承载部的重心重合,所述第二承载部用于承托所述半导体设备的第二上电极部; 第一传感器,设置于所述第一承载部的所述重心处,并采集承托的所述第一上电极部和或所述第二上电极部的重心偏移量; 驱动组件,连接于所述托盘,驱动所述托盘升降,并根据所述第一传感器采集的所述重心偏移量,驱动所述托盘调整所述第一上电极部和或所述第二上电极部的承托位置。
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