合肥芯碁微电子装备股份有限公司李永强获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请的专利用于曝光设备的调节结构和曝光设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115586709B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211385650.3，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权用于曝光设备的调节结构和曝光设备是由李永强设计研发完成，并于2022-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于曝光设备的调节结构和曝光设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于曝光设备的调节结构和曝光设备，其中，用于曝光设备的调节结构包括固定板、调节板、第一锁止件、固定座和第二锁止件，固定板适于与曝光设备的光刻图案结构连接；调节板通过平面调节件与固定板可运动地连接，平面调节件通过调节固定板与调节板的相对位置，以调整光刻图案结构的平面度；第一锁止件分别与固定板和调节板连接，控制固定板和调节板的相对位置是否固定；调节板通过角度调节件与固定座可转动地连接，角度调节件通过调节调节板和固定座之间的夹角，以调节光刻图案结构的角度；第二锁止件分别与固定座和调节板连接，控制固定座和调节板的相对位置是否固定。本发明的调节结构，装置成本低、调试简单、调试效率高。
本发明授权用于曝光设备的调节结构和曝光设备在权利要求书中公布了：1.一种用于曝光设备的调节结构，其特征在于，包括： 固定板，所述固定板适于与曝光设备的光刻图案结构连接； 调节板，所述调节板通过平面调节件与所述固定板可运动地连接，所述平面调节件通过调节所述固定板与所述调节板的相对位置，以调整所述光刻图案结构的平面度； 第一锁止件，所述第一锁止件分别与所述固定板和所述调节板连接，控制所述固定板和所述调节板的相对位置是否固定； 固定座，所述调节板通过角度调节件与所述固定座可转动地连接，所述角度调节件通过调节所述调节板和所述固定座之间的夹角，以调节所述光刻图案结构的角度； 第二锁止件，所述第二锁止件分别与所述固定座和所述调节板连接，控制所述固定座和所述调节板的相对位置是否固定。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合肥芯碁微电子装备股份有限公司，其通讯地址为：230088 安徽省合肥市高新区长宁大道789号1号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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