胜高股份有限公司李茂宽获国家专利权
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龙图腾网获悉胜高股份有限公司申请的专利洗涤装置、洗涤方法、晶圆的洗涤方法及硅晶圆的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115565910B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210757757.X，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权洗涤装置、洗涤方法、晶圆的洗涤方法及硅晶圆的制造方法是由李茂宽;张大成;浅野正幸;陈建桦设计研发完成，并于2022-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本洗涤装置、洗涤方法、晶圆的洗涤方法及硅晶圆的制造方法在说明书摘要公布了：本发明提供包括洗涤溶液生成部、主配管、至少一个洗涤部及至少一个排水部的洗涤装置。主配管与生成洗涤溶液的洗涤溶液生成部连接，供洗涤溶液流通。洗涤部与主配管连接，具有洗涤阀部及洗涤空间。通过打开洗涤阀部，洗涤溶液被向洗涤空间供给。排水部与主配管连接，具有排水阀部。通过打开排水阀部，洗涤溶液被排出。在至少一个洗涤部中的至少一个进行洗涤时，至少一个洗涤部的流量和至少一个排水部的流量的合计值为既定的数值。在至少一个洗涤部的任何一个均不进行洗涤时，至少一个洗涤部的流量和至少一个排水部的流量的合计值为既定的数值。
本发明授权洗涤装置、洗涤方法、晶圆的洗涤方法及硅晶圆的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种洗涤装置，其特征在于， 具备洗涤溶液生成部、主配管、至少一个洗涤部、至少一个排水部， 前述洗涤溶液生成部生成既定浓度的洗涤溶液， 前述主配管与前述洗涤溶液生成部连接，供前述洗涤溶液流通， 前述至少一个洗涤部与前述主配管连接，并且具备洗涤阀部及洗涤空间，通过打开前述洗涤阀部，前述洗涤溶液被向前述洗涤空间供给， 前述至少一个排水部与前述主配管连接，并且具备排水阀部，通过打开前述排水阀部，前述洗涤溶液被排出， 在前述至少一个洗涤部中的至少一个进行洗涤时，通过控制前述洗涤阀部以及前述排水阀部的开闭动作，前述至少一个洗涤部的流量和前述至少一个排水部的流量的合计值为既定的数值，且在前述至少一个洗涤部的任何一个均不进行洗涤时，通过控制前述洗涤阀部以及前述排水阀部的开闭动作，前述至少一个洗涤部的流量和前述至少一个排水部的流量的合计值为前述既定的数值。
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