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龙图腾网获悉国立研究开发法人物质·材料研究机构申请的专利观测对象气体的渗透扩散路径观测装置和观测对象气体的测量方法、点缺陷位置检测装置和点缺陷位置检测方法、以及观测用试样获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115210844B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180017533.9，技术领域涉及：H01J37/20；该发明授权观测对象气体的渗透扩散路径观测装置和观测对象气体的测量方法、点缺陷位置检测装置和点缺陷位置检测方法、以及观测用试样是由中村明子;村瀬义治;西川嗣彬;矢个部太郎;宫内直弥设计研发完成，并于2021-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本观测对象气体的渗透扩散路径观测装置和观测对象气体的测量方法、点缺陷位置检测装置和点缺陷位置检测方法、以及观测用试样在说明书摘要公布了：本申请包括扫描式电子显微镜15、检测观测对象离子的观测对象离子检测部20、向连接于试样17背面侧的观测对象气体配管14提供观测对象气体的观测对象气体提供部19、能够安装试样17作为分隔分析室11与观测对象气体配管14之间的隔膜的隔膜型试样架12、以及控制部50，控制部50获取SEM图像的同时，在提供观测对象气体并在通过分析室11与观测对象气体配管14之间的差压使试样产生应力的状态下，通过电子激发脱离，检测向试样内扩散并向表面逸出的观测对象气体，并获取观测对象离子的ESD图像，由此能够探求由观测对象气体引起的结构材料脆化现象这样的劣化现象的机理。

本发明授权观测对象气体的渗透扩散路径观测装置和观测对象气体的测量方法、点缺陷位置检测装置和点缺陷位置检测方法、以及观测用试样在权利要求书中公布了：1.一种观测对象气体的渗透扩散路径观测装置，包括： 扫描式电子显微镜，其具备分析室、电子源和二次电子检测器，所述分析室容纳试样，所述电子源向所述试样照射电子束，所述二次电子检测器检测由照射到所述试样的电子束产生的二次电子； 观测对象离子检测部，其检测由从所述电子源照射至所述试样的电子束产生的观测对象离子； 观测对象气体提供部，其向连接于所述试样的背面侧的观测对象气体配管提供观测对象气体； 加压气体提供部，其与所述观测对象气体配管连接并提供加压气体； 隔膜型试样架，其安装所述试样作为分隔所述分析室与所述观测对象气体配管之间的隔膜；以及 控制部， 所述控制部获取通过所述电子束的扫描从所述试样产生的二次电子的SEM图像， 所述控制部同时或依次进行从所述观测对象气体提供部提供所述观测对象气体的分压的观测对象气体提供、以及从所述加压气体提供部提供所述加压气体的分压的加压气体提供，在通过差压使所述试样产生应力的状态下，所述差压通过所述分析室与所述观测对象气体配管之间产生的所述观测对象气体的分压和所述加压气体的分压的合计压力来产生，通过所述电子束的电子激发脱离，将从所述试样的背面向该试样内扩散并向所述试样的表面逸出的所述观测对象气体变为所述观测对象离子，与所述电子束的扫描同步地获取由所述观测对象离子检测部检测到的该观测对象离子的ESD图像。

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