应用材料公司迈克尔·R·赖斯获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利具有可替换接口板的可重新构造的主机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115172219B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210815060.3,技术领域涉及:H10P72/00;该发明授权具有可替换接口板的可重新构造的主机是由迈克尔·R·赖斯设计研发完成,并于2020-12-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有可替换接口板的可重新构造的主机在说明书摘要公布了:一种器件制造系统的主机,包括:基座;在该基座上的多个机面;在多个机面上方的盖。多个机面中的第一机面包括框架。基座、盖和多个机面一起限定内部空间,该内部空间包括机器人臂。第一可替换接口板附接到第一机面的第一框架。第一可替换接口板包括多个基板进出端口。多个基板进出端口中的第一基板进出端口被构造为给机器人臂提供通往第一工艺腔室的通路。多个基板进出端口中的第二基板进出端口被构造为给机器人臂提供通往第二工艺腔室的通路。
本发明授权具有可替换接口板的可重新构造的主机在权利要求书中公布了:1.一种器件制造系统的主机,包括: 基座; 多个机面,所述多个机面在所述基座上,其中所述多个机面中的每个机面包括框架; 多个可替换接口板,所述多个可替换接口板中的每个可替换接口板附接到所述多个机面中的相应机面,使得至多一个可替换接口板附接到每个机面,其中所述多个可替换接口板中的至少一个可替换接口板包括一个或多个基板进出端口,并且其中所述多个可替换接口板中的一个或多个可替换接口板承载; 盖,所述盖在所述多个机面上方,其中所述基座、所述盖和所述多个机面与附接的所述多个可替换接口板一起限定内部空间;和 机器人臂,所述机器人臂在所述内部空间中, 其中所述主机被构造为在真空下操作,并且其中所述多个机面中的一个或多个机面的所述框架就由所述真空引起的负载而论是不承载的。
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