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龙图腾网获悉泉州装备制造研究所申请的专利一种共焦显微拉曼光谱光学缺陷检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114894772B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210517608.6，技术领域涉及：G01N21/65；该发明授权一种共焦显微拉曼光谱光学缺陷检测系统是由韩军;吴飞斌;龙晋桓设计研发完成，并于2022-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种共焦显微拉曼光谱光学缺陷检测系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种共焦显微拉曼光谱光学缺陷检测系统，涉及拉曼光谱分析技术领域，通过两种过滤：其一是利用显微共焦技术控制系统的微区扫描位置，并滤除非焦区域的散射光信号；其二是利用拉曼散射光频率改变的性质，滤除强反射光以及背景杂散光。最后通过分析样品不同位置的拉曼光谱变化情况，进而间接实现对表面缺陷的表征。采用了扫描振镜进行光束控制，速度快、控制精度高，解决了大口径光学元件的快速检测问题。

本发明授权一种共焦显微拉曼光谱光学缺陷检测系统在权利要求书中公布了：1.一种共焦显微拉曼光谱光学缺陷检测系统，其特征在于，包括：光学缺陷检测仪和数据处理分析模块14； 所述光学缺陷检测仪用于采集被测光学元件8的暗场散射图像数据和被测光学元件8的拉曼光谱数据； 所述数据处理分析模块14通过分析拉曼光谱数据中各个特征峰的变化情况，选择变化最大的波数进行特征分析； 所述数据处理分析模块14以三维运动控制平台反馈的空间坐标位置为基准，对每个视场下的拉曼光谱数据进行分析； 所述数据处理分析模块14对采集的若干个暗场散射的图像数据进行分析，实现准确的二维拼接成像； 所述数据处理分析模块14通过联立暗场散射数据分析的结果和拉曼光谱数据分析结果，对被测光学元件8的表面缺陷进行评估； 所述光学缺陷检测仪包括扫描振镜镜组4、第二分光器6、透镜组10、夹缝11、拉曼光谱仪12和控制器模块15； 所述扫描振镜镜组4由两个旋转镜片组成，并与控制器模块15相连，通过控制器模块15控制两个旋转镜片的旋转角度，控制激光光束的传播角度； 所述透镜组10用于对经第二分光器6分光后要进入拉曼光谱仪12的光束进行调节，并配合夹缝11的位置及宽度的调节； 所述数据处理分析模块14中对二维光电传感器13采集的光电图像数据进行分析；判断被测光学元件8是否位于显微物镜镜组7的最佳焦平面位置；如果处于离焦状态，则控制三维运动控制平台9进行上下位移； 所述的数据处理分析模块14用于对拉曼光谱仪12和二维光电传感器13采集的数据进行处理、分析与数据存储；数据处理分析模块14根据拉曼光谱仪12采集到拉曼光谱数据进行分析，利用特征峰的光整数据结合三维运动控制平台9反馈的空间位置信息进行拼接成像； 其中，所述的数据处理分析模块14与控制器模块15相连，并通过在数据处理分析模块14上设置参数从而通过控制器模块15对所述的三维运动控制平台9、显微物镜镜组7和扫描振镜镜组4的工作状态参数进行调节。

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