上海新微技术研发中心有限公司唐叶获国家专利权
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龙图腾网获悉上海新微技术研发中心有限公司申请的专利晶圆测试辅助装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223943141U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520417417.1,技术领域涉及:H10P74/00;该实用新型晶圆测试辅助装置是由唐叶;单耘耘设计研发完成,并于2025-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆测试辅助装置在说明书摘要公布了:本申请涉及半导体测试领域,具体地说,是涉及一种晶圆测试辅助装置,其包括:架体,具有用以叠放假片及晶圆的放置平台;及旋转机构,包括用以吸附假片的吸附件,旋转机构带动放置平台上的假片及晶圆旋转;其中,放置平台的一侧形成有弧形整形壁,在假片及晶圆置于放置平台时,假片及晶圆的部分侧边抵靠在整形壁上,未抵靠在整形壁上的部分侧边凸伸出放置平台,抵靠整形壁上的侧边的投影与凸伸出放置平台的侧边的投影至少部分重叠。该晶圆测试辅助装置其既能有效解决空气流量计晶圆因微流控网络结构导致的真空吸附力不足问题,又能避免对晶圆造成额外的损伤,同时提高测试效率和准确性。
本实用新型晶圆测试辅助装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆测试辅助装置,其特征在于,包括: 架体,具有用以叠放假片及晶圆的放置平台;及 旋转机构,包括用以吸附假片的吸附件,所述旋转机构带动所述放置平台上的假片及晶圆旋转; 其中,所述放置平台的一侧形成有弧形整形壁,在所述假片及晶圆置于放置平台时,所述假片及晶圆的部分侧边抵靠在所述整形壁上,未抵靠在所述整形壁上的部分侧边凸伸出所述放置平台,抵靠所述整形壁上的侧边的投影与凸伸出所述放置平台的侧边的投影至少部分重叠。
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