长川科技(苏州)有限公司雷传获国家专利权
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龙图腾网获悉长川科技(苏州)有限公司申请的专利承载机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223943137U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520355878.0，技术领域涉及：H10P72/70；该实用新型承载机构是由雷传;赵毅斌;杜振东;徐焕;孟恒设计研发完成，并于2025-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本承载机构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆检测技术领域，具体公开了一种承载机构，该承载机构包括承载件，承载件的第一端面由内向外布置有直径依次增大的若干个环形槽，承载件内部具有气体流道，各环形槽向承载件内部凹陷延伸至气体流道并与气体流道连通，气体流道具有与气源连通的抽气孔；承载件还具有若干个与气体流道贯通的调节孔，若干个调节孔沿气体流道的延伸方向间隔布置，且设于相邻的环形槽之间；各调节孔可选择地与第一封堵件或第二封堵件配合连接；其中，第一封堵件用于封堵调节孔，第二封堵件用于封堵调节孔并分隔气体流道。上述设置能适配并吸附不同尺寸的晶圆；另外，当第二封堵件封堵不同的调节孔时，使得承载件可以适配更多尺寸的晶圆。
本实用新型承载机构在权利要求书中公布了：1.承载机构，其特征在于，包括： 承载件100，所述承载件100的第一端面110由内向外布置有直径依次增大的若干个环形槽130，所述承载件100内部具有气体流道140，各所述环形槽130向所述承载件100内部凹陷延伸至所述气体流道140并与所述气体流道140连通，所述气体流道140具有与气源连通的抽气孔142；所述承载件100还具有若干个与所述气体流道140贯通的调节孔141，若干个所述调节孔141沿所述气体流道140的延伸方向间隔布置，且分散设于相邻的所述环形槽130之间；各所述调节孔141可选择地与第一封堵件210或第二封堵件220配合连接； 其中，所述第一封堵件210用于封堵所述调节孔141，所述第二封堵件220用于封堵所述调节孔141并分隔所述气体流道140。
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