芯蓥智铖(重庆)科技有限公司徐维哲获国家专利权
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龙图腾网获悉芯蓥智铖(重庆)科技有限公司申请的专利一种用于晶圆检测设备的寻边机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223943135U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520185700.6，技术领域涉及：H10P72/50；该实用新型一种用于晶圆检测设备的寻边机构是由徐维哲;刘意;杨靖;王鹏设计研发完成，并于2025-02-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆检测设备的寻边机构在说明书摘要公布了：本申请公开了一种用于晶圆检测设备的寻边机构，涉及半导体加工设备技术领域，其包括箱体、第一驱动件、转台、摄像单元、移动机构和吹气机构，第一驱动件设置在箱体内，转台与第一驱动件连接，转台的顶端开设有吸气孔，吹气机构安装在转台的顶端，移动机构设置在箱体内，摄像单元设置在移动机构的移动端。本申请使用吹气机构对转台顶壁进行吹气，使得转台的吸附表面始终保持干净，避免在长期使用的过程中进入灰尘、颗粒等杂质，保障转台对晶圆的吸附效果，同时避免杂质对晶圆产生磨损，影响其使用效果。
本实用新型一种用于晶圆检测设备的寻边机构在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆检测设备的寻边机构，其特征在于：包括箱体1、第一驱动件2、转台3、摄像单元4、移动机构5和吹气机构6，所述第一驱动件2固定设置在箱体1内，所述转台3与第一驱动件2连接并位于箱体1顶部，所述转台3的顶端开设有吸气孔7，所述吸气孔7位于转台3的中部，所述吹气机构6安装在转台3的顶端，所述吹气机构6设置为多个，多个所述吹气机构6等间距均匀分布在转台3顶端的周侧，所述吹气机构6用于对转台3顶部进行吹气，所述移动机构5设置在箱体1内，所述摄像单元4设置在移动机构5的移动端；所述箱体1内设置有X轴移动机构30，所述X轴移动机构30的移动端上设置有Y轴移动机构40，所述第一驱动件2设置在Y轴移动机构40的移动端上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯蓥智铖(重庆)科技有限公司，其通讯地址为：400000 重庆市大渡口区跳磴镇海康路106号1号楼801；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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