和舰芯片制造(苏州)股份有限公司万照云获国家专利权
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龙图腾网获悉和舰芯片制造(苏州)股份有限公司申请的专利防止卸载传送机卡片的速离装置及机台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223943134U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520069288.1,技术领域涉及:H10P72/30;该实用新型防止卸载传送机卡片的速离装置及机台是由万照云;吕东生设计研发完成,并于2025-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本防止卸载传送机卡片的速离装置及机台在说明书摘要公布了:本实用新型公开了防止卸载传送机卡片的速离装置,其包括:传送模块用于传送晶圆;电源模块用于为传送模块提供所需电能;监测模块由位置传感器和信号处理器组成,位置传感器用于当监测传送模块发生异常时,生成电信号并传输至信号处理器,信号处理器将电信号转换成触发信号;以及控制模块,控制模块用于接收信号处理器发出的触发信号,切断伺服卡与传送模块间的电路并控制电源模块为传送模块供电,控制模块与传送模块、电源模块和监测模块通信连接,并设置为控制机台的开关及运行。本实用新型加装了速离装置,通过即时响应与保护避免晶圆因滞留而受损,从而减少晶圆报废的数量,降低生产成本,也能够减少因传送异常而导致的设备停机时间。
本实用新型防止卸载传送机卡片的速离装置及机台在权利要求书中公布了:1.一种防止卸载传送机卡片的速离装置,其特征在于,包括: 传送模块,所述传送模块用于传送晶圆; 电源模块,所述电源模块用于为所述传送模块提供所需电能; 监测模块,所述监测模块由位置传感器和信号处理器组成,所述位置传感器监测所述传送模块是否发生异常、生成电信号并传输至信所述号处理器,所述信号处理器将所述电信号转换成触发信号;以及 控制模块,所述控制模块与所述传送模块、电源模块和监测模块通信连接,并设置为基于所述触发信号以控制机台的开关及运行。
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