杭州晶驰机电科技有限公司郭森获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉杭州晶驰机电科技有限公司申请的专利一种晶圆腐蚀清洗系统的清洗线获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223943130U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323358770.7，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种晶圆腐蚀清洗系统的清洗线是由郭森;陈俊设计研发完成，并于2023-12-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆腐蚀清洗系统的清洗线在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种晶圆腐蚀清洗系统的清洗线，属于半导体清洗领域。本实用新型包括强碱腐蚀池、喷淋清洗池、超声波清洗池、烘干池和清洗平台，所述强碱腐蚀池、喷淋清洗池、超声波清洗池和烘干池依次设置在清洗平台上，其结构特点在于：所述强碱腐蚀池与翻盖机构配合；所述翻盖机构包括固定座、翻盖气缸、伸缩齿、翻转齿轮、翻转轴、翻转板、翻转架和翻转盖，所述固定座固定在翻盖气缸的缸筒上，所述翻盖气缸的活塞杆上设置有伸缩齿，所述伸缩齿与翻转齿轮啮合，所述翻转齿轮通过翻转轴安装在固定座上，且翻转齿轮与翻转板固定，所述翻转板与翻转架的一端连接，所述翻转架的另一端与翻转盖连接。
本实用新型一种晶圆腐蚀清洗系统的清洗线在权利要求书中公布了：1.一种晶圆腐蚀清洗系统的清洗线，包括强碱腐蚀池B1、喷淋清洗池B2、超声波清洗池B3、烘干池B4和清洗平台B5，所述强碱腐蚀池B1、喷淋清洗池B2、超声波清洗池B3和烘干池B4依次设置在清洗平台B5上，其特征在于：所述强碱腐蚀池B1与翻盖机构B6配合；所述翻盖机构B6包括固定座B62、翻盖气缸B63、伸缩齿B64、翻转齿轮B65、翻转轴B66、翻转板B67、翻转架B68和翻转盖B69，所述固定座B62固定在翻盖气缸B63的缸筒上，所述翻盖气缸B63的活塞杆上设置有伸缩齿B64，所述伸缩齿B64与翻转齿轮B65啮合，所述翻转齿轮B65通过翻转轴B66安装在固定座B62上，且翻转齿轮B65与翻转板B67固定，所述翻转板B67与翻转架B68的一端连接，所述翻转架B68的另一端与翻转盖B69连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州晶驰机电科技有限公司，其通讯地址为：311215 浙江省杭州市萧山区经济技术开发区建设三路733号信息港五期一号楼205-14；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励