成都骏创科技有限公司周亮获国家专利权
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龙图腾网获悉成都骏创科技有限公司申请的专利一种应用于真空下的膜厚测量系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223943129U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520295749.7，技术领域涉及：H10K71/70；该实用新型一种应用于真空下的膜厚测量系统是由周亮;奉洛阳;丁威设计研发完成，并于2025-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种应用于真空下的膜厚测量系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种应用于真空下的膜厚测量系统，包括真空蒸镀腔室、测量头以及光斑监测装置，所述光斑监测装置包括：配置在监控视窗上的摄像元件，所述摄像元件用于对所述测量光斑进行拍摄，以及解析部，其用于基于所述摄像元件的拍摄而推定测量对象的膜厚；其中，所述摄像元件配置在真空蒸镀腔室外部，并且，所述摄像元件配置成与所述测量头的移动方向不在同一直线上；其中，所述测量头与所述摄像元件之间配置有反射元件，所述反射元件用于调节所述测量光斑的入射角度，所述反射元件与所述摄像元件之间配置有潜望组件，所述潜望组件配置成通过光路反射来反射所述测量光斑，以实现所述摄像元件对入射测量光的接收。
本实用新型一种应用于真空下的膜厚测量系统在权利要求书中公布了：1.一种应用于真空下的膜厚测量系统，包括真空蒸镀腔室、测量头以及光斑监测装置，所述真空蒸镀腔室的侧壁开设有监控视窗，所述测量头配置在所述真空蒸镀腔室内部并配置成用于发射测量光斑，所述光斑监测装置配置成根据所述测量光斑对蒸镀膜层的厚度进行监测，其特征在于，所述光斑监测装置包括： 配置在监控视窗上的摄像元件，所述摄像元件用于对所述测量光斑进行拍摄，以及 解析部，其用于基于所述摄像元件的拍摄而推定测量对象的膜厚； 其中，所述摄像元件配置在真空蒸镀腔室外部，并且，所述摄像元件配置成与所述测量头的移动方向不在同一直线上； 其中，所述测量头与所述摄像元件之间配置有反射元件，所述反射元件用于调节所述测量光斑的入射角度，所述反射元件与所述摄像元件之间配置有潜望组件，所述潜望组件配置成通过光路反射来反射所述测量光斑，以实现所述摄像元件对入射测量光的接收。
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