芯恩(青岛)集成电路有限公司罗志伟获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利干法刻蚀设备用的远程监控系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223941256U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520786751.4，技术领域涉及：G05B19/418；该实用新型干法刻蚀设备用的远程监控系统是由罗志伟;喻兵设计研发完成，并于2025-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本干法刻蚀设备用的远程监控系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种干法刻蚀设备用的远程监控系统，包括干法刻蚀设备和终端，干法刻蚀设备包括相连的EPD模块、信号转换模块和控制器，EPD模块用于获取并且存储刻蚀过程中的第一EPD信号，第一EPD信号包括终点曲线及其对应幅值电压信号；信号转换模块用于将第一EPD信号转换成第二EPD信号，用于和后续控制器进行电压匹配；控制器用于监测干法刻蚀设备的运行状态，控制器与信号转换模块相连，用于实时接收第二EPD信号；终端集成有FDC模块，终端与干法刻蚀设备连接，用于实时获取第二EPD信号。本实用新型可以实现实时远程监控干法刻蚀设备的EPD信号。
本实用新型干法刻蚀设备用的远程监控系统在权利要求书中公布了：1.一种干法刻蚀设备用的远程监控系统，其特征在于，包括： 干法刻蚀设备，所述干法刻蚀设备包括EPD模块、信号转换模块和控制器， 所述EPD模块用于获取并且存储刻蚀过程中的第一EPD信号，所述第一EPD信号包括终点曲线及其对应幅值电压信号， 所述信号转换模块用于将所述第一EPD信号转换成第二EPD信号，所述EPD模块和所述信号转换模块相连， 控制器，用于监测所述干法刻蚀设备的运行状态，所述控制器与所述信号转换模块相连，用于实时接收所述第二EPD信号；以及 终端，所述终端集成有FDC模块，所述终端与所述干法刻蚀设备相连，用于实时获取所述第二EPD信号。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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