西安龙威半导体有限公司孙仓获国家专利权
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龙图腾网获悉西安龙威半导体有限公司申请的专利一种用于常压扩散炉的常压测漏装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223940466U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520688424.5,技术领域涉及:G01M3/20;该实用新型一种用于常压扩散炉的常压测漏装置是由孙仓;王鑫设计研发完成,并于2025-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于常压扩散炉的常压测漏装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种用于常压扩散炉的常压测漏装置,氦气检测通路包括:依次设置的并通过管路联通的三通阀、开关阀和流量控制器;氦气检测通路通过三通阀接入主气体通路,且通过三通阀向主气体通路中注入氦气;开关阀用于控制氦气检测通路的导通与关闭,流量控制器用于控制注入氦气的流量;在主气体通路注入常压氦气后,氦气检测装置通过氦气检测终端对主气体通路中的多个测漏位点进行氦气泄露检测,用于检测测漏位点附近的氦气量是否大于氦漏设定值,测漏位点为主气体通路中采用硬性对接的位置;测漏位点外套设有辅助定位组件,辅助定位组件的周向表面均匀间隔设置有至少四个辅助定位孔,每个辅助定位孔均与氦气检测终端相配合。
本实用新型一种用于常压扩散炉的常压测漏装置在权利要求书中公布了:1.一种用于常压扩散炉的常压测漏装置,其特征在于,包括:氦气检测通路100和氦气检测装置200,其中,所述氦气检测通路100包括:依次设置的并通过管路联通的三通阀110、开关阀120和流量控制器130;所述氦气检测通路100通过所述三通阀110接入主气体通路1,且通过所述三通阀110向所述主气体通路1中注入氦气;所述开关阀120用于控制所述氦气检测通路100的导通与关闭,所述流量控制器130用于控制注入氦气的流量; 在所述主气体通路1注入常压氦气后,所述氦气检测装置200通过氦气检测终端210对所述主气体通路1中的多个测漏位点进行氦气泄露检测,用于检测所述测漏位点附近的氦气量是否大于氦漏设定值,所述测漏位点为所述主气体通路1中采用硬性对接的位置; 所述测漏位点外套设有辅助定位组件300,所述辅助定位组件300的周向表面均匀间隔设置有至少四个辅助定位孔,每个所述辅助定位孔均与所述氦气检测终端210相配合。
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