厦门钧摩芯半导体有限公司白晓锌获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门钧摩芯半导体有限公司申请的专利一种半导体制程废气电热处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223939453U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520555094.2，技术领域涉及：F23G7/06；该实用新型一种半导体制程废气电热处理装置是由白晓锌;彭认清;蔡项勉;陈瑞勇;陈志达设计研发完成，并于2025-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体制程废气电热处理装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体制程废气电热处理装置，包括外筒、内筒和中筒，内筒的内侧具有第一通道，中筒与内筒之间的间隙构成第二通道，外筒与中筒之间的间隙构成第三通道，第一通道、第二通道和第三通道构成首尾相连的迂回气流路径；第一通道内设有若干加热板，用于对途径第一通道的气体进行加热处理，所述第二通道内设有若干沿气流路径间隔分布的分流板，分流板上设有若干分流通孔。本实用新型有利于解决因未在燃烧室之前配置预热装置，往往会因为燃烧室前侧输入的相对低温气体导致燃烧室内温度波动，这不仅影响燃烧室内气体的稳定持续燃烧状态，也容易出现少量废气成分受温差波动的影响难以燃烧充分，出现逃逸现象的问题。
本实用新型一种半导体制程废气电热处理装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体制程废气电热处理装置，其特征在于，包括外筒，外筒轴向两端分别设置有进气管和出气管，外筒内部设有径向间隔分布的内筒和中筒，所述内筒和中筒的轴向剖面轮廓呈“U”字型，内筒和中筒的闭合端朝向出气管一侧并重合设置，内筒的内侧具有第一通道，中筒与内筒之间的间隙构成第二通道，外筒与中筒之间的间隙构成第三通道，第一通道位于内筒开口侧的输入端与进气管连通，第三通道的输出端与出气管连通，第一通道、第二通道和第三通道构成首尾相连的迂回气流路径；第一通道内设有若干加热板，加热板径向外侧端与内筒的内壁连接，加热板的径向内侧端为自由端，加热板上设有电加热丝，用于对途径第一通道的气体进行加热处理，所述第二通道内设有若干沿气流路径间隔分布的分流板，分流板上设有若干分流通孔。
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